固德科技

適用DRYPUMP品質檢測

利用量測Drypump內藏的培林端部位的振動訊號,來評鑑Drypump的健康狀況。並結合IIoT長時間監控Drypump品質以達到預知保養、提前維護、避免無預警停機的情況發生。

預防提前老化
提前老化
預防無預警停機
無預警停機
找出劣化問題
劣化問題
降低維護成本
維護成本
確保保養效益
保養效益


主要應用場域為:半導體長晶廠、半導體製造業、面板製造業、Sub-Fab真空系統、各式製造業廠務真空系統等。
適用應用設備為:長晶爐、LPCVD 爐管、Ion implanter、CVD Producer、PVD Sputter、Dry Etch、Slit Coater..等

可預防Dry Pump在正常工作時數內 (定期保養前),提前老化;預防泵浦卡粉,造成機械損壞甚至卡死造成無預警停機;培林端油品問題 (漏油、劣化),導致泵浦提前損壞;運轉中良品延長工作時數,拉長定期保養時間,有數據化的降低運轉維護成本;保養後回廠設備是否有達到保養需求規格,確保委外保養效益。





內建 ISO 規範和趨勢值監測


ISO 10816 轉子機械振動品質評估
利用量測轉子機械非轉動部位的振動訊號,來評鑑轉子的健康狀況以達到預知保養、提前維護、避免無預警停機的情況發生。
設備中有許多動力來源是藉由轉子設備(例如:各式馬達、泵浦),因此轉子設備的健康也就關係著機台設備健康,此功能內建了數個ISO轉子設備健康評鑑規格,可使得工程師或操作人員利用此功能來評鑑各個轉子的健康狀態,來提升維護以及預知保養的工作。

ISO 10816 轉子機械振動品質評估


內建Broad Band數值運算


根據不同機械種類分類 (馬力大小分類、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構) ,使用該種類指定之特定頻寬,並濾除頻寬內特定頻段,依需求將規定振動物理量之振幅以0-Peak、Peak to Peak、RMS值呈現。
適合套用 ISO 第一類規範管理:振動最大限制值管控 / 適合套用 ISO 第二類變異管理:振動變異管控

內建Broad Band數值運算

內建Spectrum Overall Value(SOA值管理)


SOA值傾向管理

SOA值傾向管理
同機比照-正常值:NA;警戒值;危險值
同類比照-同機型相同安裝及操作條件
標準比照-採取國內外常用標準來當警戒值與危險值

SOA值傾向管理


機械異常頻譜特徵-檢出實績


角度式不對心特徵

角度式不對心特徵

機械鬆動特徵

機械鬆動特徵

孔蝕現象

孔蝕現象

機械摩擦+鬆動特徵

機械摩擦+鬆動特徵


泵浦檢出狀態


利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因

利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因
利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因
利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因
利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因
利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因
利用FFT振動頻譜特徵,找出各種損壞部位與原因


長時間監測解決方案


提供廠區內各式 DryPump 品質檢測並將資訊可視化,以最清楚簡單的方式呈現給使用者,方便使用者整合資訊並即時了解設備狀態。查看趨勢圖功能讓維修保養人員預測、排程保養時間並可適時發現設備問題並降低維護成本。

長時間監測解決方案

內建頻譜分析 即時查看損壞原因


長時間監測解決方案

功能確效範例說明


點擊監測點可查看趨勢圖了解異常原因

功能確效範例說明

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