固德科技

VMS®-RM

有效控管真空泵浦品質

泵浦卡粉?造成機械損壞無預警停機嗎?
想要拉長定期保養時間?保養有效益嗎?

有效控管DRY PUMP品質並達到預知保養的目的!

利用量測Drypump內藏的培林端部位的振動訊號,來評鑑Drypump的健康狀況。並結合IIoT長時間監控Drypump品質以達到預知保養、提前維護、避免無預警停機的情況發生。

有效控管DRY PUMP品質並達到預知保養的目的!

使用者常常困擾 Dry Pump發生的問題,Dry Pump在正常工作時數內(定期保養前),卻提前老化。或是泵浦卡粉,造成機械損壞甚至卡死造成無預警停機。以及培林端油品問題,導致泵浦提前損壞,運轉中良品需要拉長定期保養時間,數據化降低運轉維護成本。保養後回廠設備是否真的有達到保養需求規格,利用真空泵浦頻質檢測系統,可長時間即時檢測。



應用於各式DRY PUMP設備


主要應用場域為:半導體長晶廠、半導體製造業、面板製造業、Sub-Fab真空系統、各式製造業廠務真空系統等。適用應用設備為:長晶爐、LPCVD 爐管、Ion implanter、CVD Producer、PVD Sputter、Dry Etch、Slit Coater..等 可預防Dry Pump在正常工作時數內 (定期保養前),提前老化;預防泵浦卡粉,造成機械損壞甚至卡死造成無預警停機;培林端油品問題 (漏油、劣化),導致泵浦提前損壞;運轉中良品延長工作時數,拉長定期保養時間,有數據化的降低運轉維護成本;保養後回廠設備是否有達到保養需求規格,確保委外保養效益。

應用於各式DRY PUMP設備

機械異常頻譜特徵-檢出實績


機械異常頻譜特徵-檢出實績

對於設備問題不知道如何找出嗎?


不清楚該如何選擇量測工具?設備問題不知道從何檢出?設備有異常卻不知道原因?讓服務量測專業人員為您解決問題。