Fab 端常發生的問題？

執行痛點
Fab 環境的微振動監診怎麼作？

當架設了樓板，是否了解樓板的避震效率？ 另外對於手臂機台運送晶片發生的輕微抖動，是否可以提早避免此類狀況以防對晶圓片或 IC 片造成極大的傷害？ 如何在放置新購精密儀器時找尋最佳位置？ 如何在長時間中量測環境微振動，又能即時查看狀態？

執行目標
掌握 Fab 環境的微振動

＃了解隔震樓板效率，補強或新增
Fab 端的精密儀器設備由於製程精密，而且設備數量也多，雖然本身都會有避震隔震平台，但設備會磨損、平台會老化，隔震的效率也會降低。為了避免影響設備表現，了解避震平台效率，也才能適時補強或替換。

＃相同設備但機台振動結構卻不同
Fab 端的精密儀器設備即使都是同一種型號，但由於每台設備皆是由眾多部件組裝而成，因此部件與部件之間運轉時所傳出的振動頻率也不會相同。如皮帶安裝的鬆緊度、磨損老化程度都會造成不同的振動結構。

＃自然頻率與運轉，機台相互影響
Fab 端的精密儀器設備要如何保護自己確保穩定度又避免影響其他機台?結構和結構之間必然會有振動，當振動源與振動頻率一致時，是否能防止因自然頻率而引起的共振?共振是否會影響設備運轉加工的精度？

＃添購新機，安裝環境的振動檢知
Fab端的精密儀器設備在購入新機時，也要注意安裝放置環境是否會因為其他設備機台運轉振動而影響機台表現。而新建構的隔震樓板是否適合放置此類機台設備?機台與機台之間在一定的空間下，間隔需要多大？

如何執行
環境的微振動監診

環境微振動影響著 Fab 端的製程與設備運轉品質，透過長時間環境微振動監測系統，能夠了解設備之間相互影響程度，機台內部干擾源，分析振動源、偵測錯誤、確認效益！環境振動等級測試、了解機台設備避震能力與避震系統的效率。

執行痛點
Fab 端如何監測各式設備的品質？

執行目標
掌握 Fab 端各式設備狀態

＃預防無預警損壞，避免機台造成瑕疵
Fab 端的機台皆採高自動化方式進行，機台型號種類繁多複雜，製作時間繁複時間又長，一旦突然停機或異常振動，很可能就會造成前面的所有程序就都浪費，更不用提會浪費多少成本。因此需要切確掌握機台狀態，避免發生無預警的停機損壞。

＃延長使用壽命，保養排程規劃更明確
Fab 端的各式機台設備，背負著廠房重要產能工作，一但遇上停機維護，容易造成產率降低、或是產品損耗、不良率提升。若能切確了解設備品質，便能夠依照設備狀態平時加強保養或避開設備運轉時間，進一步延長設備的使用壽命。

＃ISO 規範及自訂門檻，判斷設備品質
監測軟體系統依照設備特性，長時間累積數據並依照需求建立規範設計量測流程，內建適用ISO規範，輕易判讀轉子品質。第二類管理方式使用者並可自行設定門檻值上下限，或是查看趨勢圖或即時動態。

＃即時了解設備狀況，找出問題癥結點
Fab 端用機台設備設計精密，部件複雜，製程需要嚴密監控。透過感測器量測，量測點經由長時間蒐集數據，使用者可依據經驗設定門檻值，能在設備出現問題時發送警告訊息，以供使用者適時停機並且排除問題。

如何執行
各式設備的品質

對於Fab端所用到的各式設備，由於機型種類繁多，維護難度較高，加上大部分製程繁瑣且精密，偵查零組件異常點不易，若能在設備上加裝監測系統，有助於使用者切確掌握設備狀態。