Sub-Fab 端常發生的問題？

痛點執行
影響Sub-Fab端的Dry pump？

Sub-Fab的工安危險
半導體製造業常常困擾於工安的問題，在製程中所使用到的化學物質眾多，有毒氣體如：AsH₃ 砷化氫、SiH₄ 甲矽烷、SiH₂Cl₂ 二氯矽烷、Si₂H₆ 乙矽烷、SiHCl₃ 三氯氫矽、GeH₄ 甲鍺烷、PH₃ 磷化氫、NH₃ 氨氣等，對於環境與人體都有立即性的危險。這些有毒化學氣體於無塵室機台端反應排放後，透過 Dry pump 真空系統送至 Local Scrubber 作處理，若殘留在風管中，一旦有化學反應，輕的話造成排風管堵塞或腐蝕，嚴重的話可能會發生洩漏或爆炸的可能。

Sub-Fab 的製程問題
在工業、半導體製造業製程中，部份加工技術程序會如：熱處理、塗層、乾燥、鍍膜、冶金、蝕刻、灰化、去光阻等程序會藉由Dry pump幫助製造真空環境來達成。真空系統由多種組件組合而成，如壓力閥、壓力計、真空腔體與泵浦。Dry pump 在製程的重要性如：乾蝕刻（Dry ETCH) 利用電漿，將反應氣體分子，經由離子的化學反應或物理作用。將曝露在電漿下之薄膜蝕刻，生成物時再以 Dry pump 抽離。因此一旦 Dry pump 失去作用或異常，可導致在製造過程中的不良品增加，造成產品的污染。

Ion implanter

Dry Etch

Slit Coater

CVD Producer

LPCVD 爐管

長晶爐

執行目標
掌握 Dry pump 品質

＃了解設備品質，避免無預警停機
Sub-Fab 端 Dry pump 設備屬於轉子機械設備，了解轉子的健康狀況進行預知保養，避免 Dry pump 設備容易因為泵浦卡粉、培林端油品問題（漏油、劣化）導致機械損壞或卡死，或是泵浦提前損壞，造成無預警停機。

＃快速找出問題癥結點，排除異常
Sub-Fab 端 Dry pump 設備機型種類繁多，對於製程有相當大的影響，當設備問題發生時，需要能立即性找出問題癥結點，快速排除異常原因，以免因為影響產線流程造成產品不良率提高及生產成本。

＃降低維護的成本，確保保養效益
Sub-Fab 端 Dry pump 設備因種類機型不同，許多使用者會委外或回原廠進行保養，但往往無法得知回廠後的保養效益。若能了解Dry pump品質，就能避免過度保養，在正確的時間進行保養，進而降低維護成本。

＃增加良品使用率，預防提前老化
Sub-Fab 端 Dry pump 設備對於半導體製程佔有很重要的影響，許多使用者會因為不了解設備品質，時間到了就回原廠保養，換了一堆不需要換的耗材部件，增加維護成本，切確了解設備品質才能把錢花在刀口上並且預防提前老化。

避免無預警停機

找出問題癥結點

確保保養效益

增加良品使用率

如何執行
Dry pump 的振動監診

設備中有許多動力來源是藉由轉子設備(例如：各式馬達、泵浦)，因此轉子設備的健康也就關係著機台設備健康，VMS-DP 真空泵浦監測系統內建了數個ISO轉子設備健康評鑑規格，可使得工程師或操作人員利用此功能來評鑑各個轉子的健康狀態，來提升維護以及預知保養的工作。

根據不同機械種類分類 (馬力大小分類、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構) ，使用該種類指定之特定頻寬，並濾除頻寬內特定頻段，依需求將規定振動物理量之振幅以0-Peak、Peak to Peak、RMS值呈現。

提供廠區內各式 DryPump 品質檢測並將資訊可視化，以最清楚簡單的方式呈現給使用者，方便使用者整合資訊並即時了解設備狀態。查看趨勢圖功能讓維修保養人員預測、排程保養時間並可適時發現設備問題並降低維護成本。

VMS-DP 真空泵浦監測系統

VMS-DP

真空泵浦監測系統