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切割斜刀造成晶圓片切割不良?

監診實績｜斜刀切割晶圓片不良？

切割不整齊、不均勻或有缺陷的切割表面，除了影響 Die 的品質，也進一步影響製成的元件或晶片的性能。

晶圓切割機割刀

晶圓切割機的割刀精準度是確保半導體製程中精確切割的關鍵因素之一。割刀的精準度影響晶圓切割的精度和表面品質。割刀精準度關鍵因素如：刀刃的幾何形狀和尺寸的一致性，有助於提高切割的精準度。割刀的安裝需確保刀具與切割機的機構正確對齊。任何安裝誤差都可能導致切割不準確，因此在安裝過程中需要謹慎操作。

另外切割機的機構也需要注意，以確保刀具在切割過程中能夠保持穩定。自動化控制系統有助於實現更高的割刀精準度。這包括高解析度的位置控制、精確的速度控制和實時反饋系統，以確保切割的精準度和一致性。為了確保割刀的精度，會實施嚴格的品質控制程序，包括在製造和安裝過程中的檢測和調整。此外，定期的保養和校正也是確保割刀精準度的關鍵步驟。

刀具異常的影響：

在將 Wafer 切割成 Die 的製程中，如果遇到刀具異常，可能會造成多方面的損失：
產品品質降低：切割不整齊、不均勻或有缺陷的切割表面，影響 Die 的品質也進一步影響製成的元件或晶片的性能。

產品數量減少：切割失敗或晶圓片損壞，這會使得該片 Die 數量減少，進而減少最終產品的產量。

製程停機時間增加：當異常發生時，可能需要停機進行檢修或更換刀具。這會導致製程停機時間的增加，影響整體生產效率。可能還需要進行額外的測試和修復工作，進一步增加成本。

客戶滿意度降低：若因刀具異常而導致產品品質降低或交貨延誤，這可能影響客戶滿意度，尤其是在半導體行業這種高度競爭的領域。

為了最小化這些損失，實施嚴格的品質控制和定期的設備維護，包括刀具的定期更換和檢修，以確保切割製程的穩定性和品質。因此，需要監測系統監測切割品質，即時檢測刀具異常，避免因小失大。

如何檢測？

VMS-PH 設備動態品質分析儀
比較正常刀、斜刀、異常刀的狀況，透過快速傅立葉（FFT）轉後後頻譜觀察割刀差異，以較精細頻譜訊號來觀察訊號變異。