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如何監測晶圓切割機機構動作品質？

監診實績｜如何監測晶圓切割機機構動作品質？

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#半導體領域

#機器學習

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晶圓切割機是半導體製程中的關鍵設備，其品質對整個製程和最終產品的性能都有重要影響。如何確保切割機機構動作品質穩定度？

晶圓切割機

晶圓切割機的穩定性與製程關係 晶圓切割機的穩定性直接關係到製程的穩定性，一台高品質的切割機需要能夠確保切割的精確性和一致性，並實現更高的切割精度，確保元件的尺寸和形狀符合規格。高效能的晶圓切割機能夠提高製程速度，從而提高生產效率，這對於大規模生產和緊湊的生產排程是至關重要的。因此，如果切割機效率低下，可能會成為整個製程的瓶頸，影響整體生產能力。我們藉由監測切割機機構動作來確保切割機的品質，進一步讓晶圓製程能達到一致的標準，減少製程變異性，提高製程穩定性。

監測說明

VMS-ML 機器學習智能監控系統
針對主軸啟動升速、晶圓切割…….等機構動作中擷取同步產生的振動訊號，進行優良狀態下的規範學習及動作判別，透過與規範比對結果，檢測重複性的動作，達到機械動作品質檢測目的。