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PVD、CVD 機台手臂如何確認作動是否穩定？

監診實績｜PVD、CVD 機台手臂如何確認作動是否穩定？

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#機械手臂

薄膜沉積的目的是在晶圓上增加導電特性，如何避免PVD、CVD機台手臂異常影響製程?如何確保作動穩定？

CVD PVD 機台手臂對於製程的重要性

掌握機台狀態，以確保高度的可靠性和穩定性
PVD及CVD機台通常包含多個部分，其中手臂是一個重要的組成部分。手臂主要用於將晶圓移動到不同的位置，以進行不同步驟的薄膜沉積。 當PVD機台的手臂發生異常時，可能會對製程產生多種影響，例如，製程可能需要停止或暫停，這會導致生產效率下降。停機時間越長，損失就越大。PVD機台的手臂在整個製程中負責將晶圓移動到不同的位置，以確保薄膜均勻沉積。手臂的異常可能導致製程不一致，使得每個晶圓的處理結果不同。此外，手臂的異常影響到製程的安全性，可能會對操作人員和設備造成潛在的安全風險。因此，使用者必須掌握機台狀態，以確保高度的可靠性和穩定性，以確保製程的順利運行。

監測說明

VMS-ML機器學習智能監控系統
VMS-ML能夠將CVD、PVD機台動態訊號與機械學習動作可視化，系統藉由學習機械動作並量測除了能夠得知機台作動中穩定性差異，利用數據趨勢可以說明機台的穩定度標準，還能夠作為維修後的效益確認出機前的驗證。