如何確認鍍膜製程 Coating 的設備穩定度？

監診實績｜如何確認鍍膜製程coating的設備穩定度？

#半導體領域

#預知保養

半導體製程中的塗佈鍍膜，若是出現異常抖動容易造成塗佈不均的現象，該如何藉由量測設備來確認製程的穩定度？

鍍膜的方法

鍍膜的方法大致可以分為乾式鍍膜（dry coating）和濕式鍍膜（wet coating）。一般而言，藉由塗佈實現的鍍膜技術。而其中濕式鍍膜由於不需要真空環境，適合大量快速生產，因此較廣泛應用於工業領域中。塗佈液均勻塗佈於基材上而後經由乾燥應化過程中進行固體薄膜化技術。

旋轉塗佈機（spin coater）原理
旋轉塗佈屬於濕式鍍膜，其基材（矽晶圓片或其他平滑物件）以真空接吸方式，於物件中心落下塗佈液體，利用旋轉離心力的方式平均散布液體於物件上並快速甩出多於液體並令其形成一層薄膜，而轉速大小、旋轉時間、乾燥速度等都將影響薄膜形成的厚度。另外，在製程中如設備出現不正常振動，容易造成塗佈不均的現象。

解決與監測說明

VMS-PH 設備動態品質分析儀
因此我們藉由VMS-PH的動態分析功能，量測coating機台及機台的nozzle的轉速運行狀況，透過比較不同轉速其過程中的振動訊號來得知製程中是否穩定。作為規範，為各別動作進行監測與診斷，透過系統了解設備在哪一個動作出現異常或不穩定的狀態，提早進行預知保養，避免無預警異常的發生。