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如何預防晶圓在運送過程中產生刮片？

監診實績｜如何預防晶圓在運送過程中產生刮片？

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#機械手臂

搬送晶圓的機械手臂 (Wafer Robot)，運送過程若出現異常振動有可能將導致晶圓片刮片、撞片等，該如何提早預防避免晶圓片受損報廢？

專用於搬送晶圓的機械手臂

晶圓手臂多數應用在半導體製程的前段中，能夠替代人力進行晶圓片的傳輸，晶圓片的成本費用高昂，因此用戶也非常重視手臂在傳輸上的穩定度。晶圓手臂在結構上大都有多軸向關節，使其能夠更方便在狹小的空間裡準確而穩定的輸送晶圓。而在搬運過程中手臂若出現異常振動，將大幅影響著晶圓品質，可能導致刮片、撞片等。而晶圓手臂有各種多軸方向性，該如何進行監測呢？

解決與監測說明

VMS-ML 機器學習智能監控系統
藉由 VMS-ML 機器學習智能監控系統 學習晶圓手臂輸送過程的動態訊號，本系統無需與設備系統進行對接，只需安裝一顆sensor即可開始學習動態訊號，藉由量測即可得知各區段的變化。