DRYPUMP真空泵浦監測解決方案

隨著半導體代工與LCD面板製造業等市場需求提升，真空設備Drypump真空泵浦被大量運用於醫療、化工、機械、半導體製造業等。使用者常常困擾泵浦發生的培林端漏油、泵浦卡粉等問題，導致泵浦提前損壞。所以使用者會將到達運轉預定時數的真空泵浦一律通通送交保養，其中可能也因此為了保養良品造成了不必要的浪費。

＃Drypump真空泵浦 ＃半導體製造業

以半導體製造為例，真空泵浦為爐管的重要元件，內含轉子電機、魯氏泵浦等。雖然原廠會提供相關的監測系統，但功能僅涵蓋壓力、流量、溫度及電流，無法真正瞭解泵浦健康狀況。即便使用者將設備送交保養，設備回廠後也僅以電流作為驗收依據，無法切確了解保養成效。

了解真空泵浦的健康狀態

固德推出真空泵浦品質檢測解決方案，幫助使用者了解真空泵浦的健康狀態。監測目的在於1.預防真空泵浦在預定保養時間前提前老化，造成運作效率不良的問題。2.預防因為泵浦卡粉，造成機械損壞造成卡死甚至無預警停機。3.預防培林端漏油、劣化，導致泵浦提前損壞。4.運轉中的良品延長工作時數，拉長定期保養時間，有數據化的降低運轉維護成本。5.送交保養的回廠設備是否有達到保養需求規格，確保委外的保養效益。

機械異常頻譜特徵-檢出實績Ⅰ:角度式不對心特徵

---

機械異常頻譜特徵-檢出實績Ⅰ:機械鬆動特徵

---

機械異常頻譜特徵-檢出實績II:孔蝕現象

---

機械異常頻譜特徵-檢出實績III:機械摩擦＋鬆動特徵

三種規範同步監測

ISO、BROAD BAND、SOA（Spectrum Overall Value）三種規範同步監測，內建ISO規範，利用ISO10816管理轉子機械振動品質評估，並將結果判定分為優良、正常、警告、危險。讓使用者可藉此評鑑轉子部件健康狀態，來提升維護以及預知保養的工作。BROAD BAND數值管理確認設備振動基準值，根據不同機械種類分類（馬力、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構，使用該種類指定之特定頻寬，並濾除頻寬內特定頻段，依需求將規定振動物理量之振幅以0-PEAK、Peak to Peak、RMS值呈現，SOA振動量超過基準值判定設備狀態，還可藉由FFT振動頻譜特徵了解各種損壞部位與機械異常原因。

泵浦檢出狀態:利用FFT振動頻譜特徵，找出各種損壞部位與原因

---

長時間監測有效控管DRYPUMP品質

固德推出的DRYPUMP真空泵浦監測解決方案利用量測Drypump內藏的培林端部位的振動訊號，來評鑑Drypump的健康狀況。並結合IIoT長時間監控Drypump品質以達到預知保養、提前維護、避免無預警停機的情況發生。以清楚簡單的方式呈現給使用者，方便使用者整合資訊即時了解設備狀態並降低維護成本。

了解更多真空泵浦監測解決方案