監診實績

各式設備部件如何有效監診?

如何有效預知監診並找出異常振動源?早一步預防損壞狀況的發生,可以有效阻止無預警停機,並對於造成的損失進行止損,進一步延長機械設備使用壽命。為您的廠房機台設備規劃預知監診計劃,有效預防各式大小疑難雜症、排除機台異常。

智慧製造監診實績

龍門與環境振動

如FIMS機台運作中,因為龍門振動過大可能導致加工或裝配過程中的不準確性,從而影響生產品質。該如何確保品質運作?環境振動對FIMS(Flexible Integrated Manufacturing System)設備的運作品質可能產生多方面的影響,例如:加工或裝配的精度和品質、機器結構或部件的損壞。這些都可能導致產品尺寸偏差...

龍門與環境振動

螺絲製程品質

小小不起眼的螺絲,卻佈滿生活中各種物件及各種機械中。製造螺絲的連續模具及設備稼動率將深切影響螺絲製造廠的產能,模具的好壞也影響著螺絲品質,該如何確保螺絲製造品質、預防模具損壞並降低...

螺絲製程品質

排氣風車馬達

當排氣風車無法正常運轉時,可能會導致製程中產生的氣體可能會積聚在設備中,導致壓力升高或氣體濃度過高,導致製程受到影響,例如溫度、壓力或化學濃度等方面的變化,進而影響產品的品質和製程...

排氣風車馬達

多軸手臂電流

多軸機械手臂的馬達驅動與電流之間有密切的關係,主要是因為馬達是透過電流來驅動的。當機械手臂進行運動時,每個關節的馬達都需要消耗電能來產生轉動力矩。因此,馬達的電流會隨著機械手臂...

多軸手臂電流

DB 螺桿異常

Die Bonder 中的螺桿品質不好,可能會導致晶片無法準確地定位或者結合到基板上。這就像是在貼郵票時手抖了一下,郵票就貼歪了一樣。結果可能是晶片位置不準確,或者結合不牢固,這可能會導致...

DB 螺桿異常

上片機Bond Head

Bond Head會將新晶片精確地放置在現有晶片上,並使用焊點將它們連接在一起,這就需要高度的精度和穩定性,以確保堆疊層之間的電氣性能和訊號傳輸品質。因此,Bond Head手臂的穩定度深切...

上片機Bond Head

沖壓模具異常

模具屬於耗材,在沖壓過程中勢必會產生磨損,當時間一長,就會導致模具的損壞。沖壓機台模具的損壞可能對製造過程和製品品質產生多種影響,這些影響可能會影響生產效率、產品的精度和一...

沖壓模具異常

汽車鈑金熔接

在汽車鈑金熔接製造過程中,錯誤的電流和電壓設定可能導致焊接不均勻,並且可能增加焊點虛焊或缺陷的風險。如果熔接不充分或存在缺陷,則連接的強度可能會受損。這可能導致連接在應力下...

汽車鈑金熔接

迴焊爐送風馬達

迴焊爐膛內的熱氣流對刷好錫膏線路板焊點上的錫膏作用,使錫膏重新熔化液態讓元件與線路板焊接熔接在起,然後經過回流焊爐冷卻而形成焊點。因此,迴焊爐馬達在製造過程中影響著焊接...

迴焊爐送風馬達

晶圓研磨主軸

研磨主軸的運動需要高度的精確控制,以確保研磨過程中的精度和表面品質。由於主軸是設備中的核心,具有護蓋保護,量測時若將感測器貼於主軸上,容易會有背景值的干擾,該如何執行量測?...

晶圓研磨主軸

實驗室環境微振動

環境微振動是指在自然環境或建築物中引起的極小振動,在需要高精度實驗的環境中,微振動可能導致實驗結果的不確定性,影響研究的準確性。或是導致科學儀器精度下降,進而影響實驗的可靠性...

實驗室環境微振動

STK各軸向動作品質

Stocker 自動搬運系統通常使用多軸運動控制系統,如果這些軸向發生異常,可能會導致不同的問題或狀況,例如:如果 X 軸發生異常,可能會影響系統在水平方向上的運動。搬運車可能無法準確移動...

STK各軸向動作品質

晶圓切割機機構動作

晶圓切割機是半導體製程中的關鍵設備,其品質對整個製程和最終產品的性能都有重要影響。如何確保切割機機構動作品質穩定度?晶圓切割機的穩定性直接關係到製程的穩定性。一台高品質的切割機...

晶圓切割機機構

光阻塗佈機手臂監測

在光阻塗佈過程中會影響晶圓品質的因素有很多,例如手臂的精度、穩定性、速度、機械振動等。機械手臂的振動可能會傳遞到晶圓上,造成振動對光阻均勻性的影響。 因此,確保減小機械振動...

光阻塗佈機手臂監測

Particle過濃

微粒子可能引起製程中的不穩定性,例如在蝕刻、沉積或光罩製程中,微粒子的濃度過高,將導致不均勻的材料去除或沉積,進而影響元件的製造品質瑕疵或不良,增加產線製造不良品的機率。...

Particle濃度監測

PVD、CVD機台手臂異常

PVD及CVD機台通常包含多個部分,其中手臂是一個重要的組成部分。手臂主要用於將晶圓移動到不同的位置,以進行不同步驟的薄膜沉積。當PVD機台的手臂發生異常時,可能會對製程產生多種影響...

PVD、CVD手臂

斜刀造成晶圓片不良

切割斜刀造成晶圓片切割不良?晶圓切割機的割刀精準度是確保半導體製程中精確切割的關鍵因素之一。割刀的精準度影響晶圓切割的精度和表面品質。割刀精準度關鍵因素如:刀刃的幾何形狀和...

割刀品質

植釘熔接不良

自動化植釘熔接異常造成物件接合不良?植釘熔接(也稱為穿釘熔接或融合熔接)是一種金屬加工技術,通常用於將兩個或多個金屬零件連接在一起。這種技術的基本原理是將一個金屬釘(通常是...

植釘熔接

長晶爐異常抖動

發現長晶爐熔湯液面已有肉眼可辨識的抖動現象,如何找出異常振動源?調查重點 找出液面抖動原因並設計數據化管控方式為本次調查重點。檢測辦法 液面抖動較大機台(長晶爐1)與抖動情況正常機台...

長晶爐監診

flip chip bonder異常

晶片在flip chip bonder 與reflow站點時出現了機況,如何避免更大損失?對於無預警停機 了解機台狀況並即時監控,當問題發生時能發送警示號誌並停止生產線,避免後端更大的損失。對於智能化願景...

flip chip bonder監診

線切割機流暢度不佳

線切割機在半導體加工製程中切割晶圓棒時產生流暢度不佳的狀況?晶棒線切割機品質監測 切片是矽單晶由晶棒變成晶片的一個重要步驟,決定了晶片的翹區度大小。晶圓成型關鍵在於線切割,當線切割順暢度...

線切割機監診

晶圓研磨平整度不均勻

如何避免晶圓平整度不佳、表面粗糙度不佳、倒角異常、邊拋異常的狀況?研磨及拋光製程決定晶圓最終厚度及表面粗糙度,製程中振動訊號過大,同樣會造成晶圓平整度不佳、表面粗糙度不佳、倒角異常、邊拋...

研磨拋光機監診

OHT 天車系統振動異常

OHT對於晶圓片運送過程中掌握了極大的關鍵,異常的振動該如何提早預知呢?OHT為無人化駕駛車輛,所以若能確保車輛在運輸過程中的品質,將可避免許多不必要的損失及提升半導體的生產效率與可靠性...

OHT 天車系統監診

高速衝孔網機晃動

高速衝孔網機進行快速衝壓時,若有異常晃動、振動,容易造成不良品的產生,該如何提早避免?由於高速沖孔網機,衝剪工藝快速,因此機台一有異常晃動或是位置不一致,容易造成不良品的產生。該如何確認...

高速衝孔網機監診

綜合加工機部件異常

加工機設備是利用馬達動力,皮帶結構帶動旋轉工件與刀具,產生切削作用進行加工動作。用途相當廣泛,在部分製程中為確保產品精密度會以機械手臂取代人力做運送的動作完成流程。隨著加工製程越來越精密...

綜合加工機監診

衝孔攻牙機刀具異常

鑽孔機的刀具,對於產品品質有重大影響 我們藉由監測鑽孔機主軸加工連續動態訊號,來了解在工件與產品之間的關係。堪用刀接觸到工件升速開始鑽孔到減速已開始發生抖動狀況,同時在鑽孔加工段也有異常訊號...

衝孔攻牙機監診

走心式車床卡屑異常

無預警夾屑(卡屑)造成加工不對心。利用相似度改變控管加工狀況,避免長時間沒發現的損耗料件及影響稼動率,減低不良品的風險。動態分析管理可作為機台主軸移動刀具更換、主軸夾取工件狀況的評估判別...

走心式車床監診

加工機馬達異常

馬達已明顯發出噪音,如何知道是哪個部件發生問題?精密加工機的馬達或泵浦等旋轉機械運轉時聲響過大,該如何依據經驗值結合科學判斷機械運作存在問題,並快速找出問題所在,進而避免無預警停機的發生...

加工機馬達監診

伺服馬達異常

在各式自動化設備中,馬達的數量佔最大宗。而以工具機控制精準度來說,以伺服馬達及步進馬達為主。什麼是伺服馬達?伺服馬達(Servomotor)分為直流於交流兩種,響應速度較快,可於短時間內達到...

伺服馬達監診

Scrubber製程

晶圓清洗中,常藉由Scrubber機以溶液清洗晶圓表面來去除微粒(particle),能有效去除表面各式污染源,並且還要能夠避免對晶圓造成表面的缺陷或刮傷,此時清洗的spray nozzle噴射角度與流量都會影響...

Scrubber監診

Dry Pump故障

半導體製程中,有許多需要利用真空泵的設備。例如在擴散製程中若出現真空度不足或真空泵浦突然故障停機,將會導致大氣回灌、particle過量等。導致晶圓品質異常、報廢等。其中以Dry Pump影響製程關係...

Dry Pump監診

氣壓缸作動異常

氣壓缸是一種利用壓縮氣體作為動力,驅動機構作動產生往復線性運動的機械元件。作動過程中,壓縮氣體由活塞的一端進入氣壓缸內,並對活塞施加壓力使活塞產生移位。氣壓缸發生的異常的原因有很多,例如...

氣壓缸監診

晶圓切割機異常

要得到更高的晶圓良率,除了要掌控周遭環境的可控因素,更必須要讓製程設備都能擁有穩定執行的能力,而晶圓切割機深切影響著晶片的質量,該如何確保切割機製程的穩定度呢?切割機主要部件為:主軸、刀具...

晶圓切割機監診

Die bonder異常

半導體封裝製程中,黏晶是相當重要的其中一道工序。隨著技術越來越精密複雜,該如何確保製程的穩定與良率呢?Die bonder,固膠機,在PCB板上固定晶片,由上片手臂將PCB料件送至定點,點膠手臂於晶片...

Die bonder監診

Turbo pump 動不平衡

對於Turbo Pump磁浮式軸承振動量較小,須以頻譜分析作為比較。另外,磁浮式軸承最核心的問題是的是動平衡,例如:轉速頻率相對較大的就是動平衡不良。我們藉由攜帶式巡檢分析儀器來確保泵浦的品質,...

Turbo pump監診

PVD 製程的設備狀態

對於要營造一個良好的製程環境,有效提高產線良率。而PVD製程所需要的設備狀態該如何掌握及量測呢?在此我們藉由量測PVD製程中的磁性油封、減速機、真空腔體、馬達等,來實際量測比較結果,從中瞭解...

PVD 製程監診

Stocker 設備狀態

Stocker 在面板廠負責玻璃基板原料、半導體廠內的製品或成品的儲存工作等,以下固德針對 Crane STK 搬運Casette動作行為與煞車伺服馬達的品質狀態進行監測診斷。可提早進行預知保養,避免無預警停機的...

Stocker 監診

Mask Aligner 如何量測

製作電路時利用光波於晶圓上進行曝光,製程若出現異常抖動容易產生不良品,該如何執行檢測預防?針對曝光機避震平台做各軸向的量測,可得知各軸向變化,並將振動訊息可視化是把量測到的數值直接轉換...

Mask Aligner 監診

Coating製程鍍膜不均勻

旋轉塗佈屬於濕式鍍膜,其基材(矽晶圓片或其他平滑物件)以真空接吸方式,於物件中心落下塗佈液體,利用旋轉離心力的方式平均散布液體於物件上並快速甩出多於液體並令其形成一層薄膜,而轉速大小、...

Spin Coater 監診

晶圓在運送產生刮片

晶圓手臂在結構上大都有多軸向關節,使其能夠更方便在狹小的空間裡準確而穩定的輸送晶圓。而在搬運過程中手臂若出現異常振動,將大幅影響著晶圓品質,可能導致刮片、撞片等。而晶圓手臂有各種多軸方...

Wafer Robot 監診

手臂電流過大焊接不良

電焊手臂的作用原理是通過將高壓電流導入焊接部位,使其產生熱量將金屬材料熔合在一起以進行焊接。若是遇到電流過大或是位置不正確,就有可能導致焊接不良,該如何預防以確保焊接的準確性和連續性...

Welding Arm 監診

PCB切板不良

PCB切板機的製程動作與電流之間的關係是一個複雜的因素組合,受多種因素影響。為了確保切割過程的穩定性和品質,操作人員需要根據不同的 PCB 材料、切割參數和切板機型號,選擇適當的參數設置,以確保...

PCB切板機

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設備監診與故障預防

各式馬達轉子規劃線上監測系統,經由加速規有效為馬達轉子作相關故障監測管理,並持續為記錄數據及故障發生時間點。
您有設備監診的問題嗎?需要專人為您提供完整的智慧工廠邊緣運算解決方案?各式設備系統監診問題,請交給固德。

設備監診與故障預防

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