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OHT天車系統發生振動過大異常?

OHT 天車系統發生振動過大異常?


對於半導體廠,除了晶圓片生產過程品質是最大關鍵外,運輸過程也是至關重要。而半導體廠中,晶圓片運輸皆由廠區內OHT系統運送,以防振動造成的磨損。因此,OHT對於晶圓片運送過程中掌握了極大的關鍵,異常的振動、運輸的穩定度不夠也會導致品質受損,該如何提早預知呢?

OHT 軌道車行走時發生了振動過大的狀況?

在半導體成長發展下,無塵室自動化的提升,在需要高度嚴格管理的環境下,多採無人自動化方式搬送系統,OHT就是其中一種。OHT就像是一個小型城市裡的交通運輸系統,在廠內需要通行無阻,並要確認在預定時間朝者指定的路徑移動。OHT在網路上有多個名稱,稱懸吊式載具、天車系統、空中走行式搬運系統等。主要搬運的物件(乘客)是晶圓,OHT車輛會依循設定的路線行駛,當然也常會遇到其他的OHT車輛,當車流速度、穩定度不穩定時,可能就是因為振動過大、異常或是碰撞的狀況發生,嚴重的話將會導致晶圓片的受損或系統影響。

OHT軌道車行走時發生了振動過大的狀況?

#設備維護 #晶圓運送 #無塵室自動化 #OHT #設備健康管理



如何解決?

如何解決?

OHT為無人化駕駛車輛,所以若能確保車輛在運輸過程中的品質,將可避免許多不必要的損失及提升半導體的生產效率與可靠性。在OHT車輛上需要能加裝監測儀器或感測器,透過中央監測dashbroad實時監測或發佈警報以及在必要時採取更換零件維護的動作,確保運輸行進路線暢通。



OHT 軌道車振動品質如何監測?

OHT軌道車振動品質如何監測?

軌道車振動品質監測:
1. 偵測目標:軌道車行走振動過大
2. 確認為車體行走動作為造成振動異常
3. 自我偵測測試軌道健康,確保異常來自軌道車體
4. 針對個別車體振動異常警示發報

偵察兵模式:
1. 偵測目標:軌道品質異常
2. 使用時機:歲修後整廠軌道巡視,監測模組實時透過感測器監測OHT振動狀況(長時間振動過標、振動突波過標皆視為警報事件)
• 模組同時與OHT交握位置資訊
• 一旦有警報事件發生(振動訊號超出內部門檻規範)發出超標警報

給主系統
• 警報資訊:警報、當下振動數據(g/RMS)、當下OHT位置資訊
• 警報與警報資訊主要透過Wifi傳輸
• 警報事件同時由第二備援(低頻段傳輸)傳輸資訊,避免wifi訊號異常時,無法確實傳輸警報事件
• 車子通訊中斷,第二備援仍可回傳該OHT振動過標(有車子名稱、沒有車子位置)