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OHT 軌道車行走時發生了振動過大的狀況？

監診實績｜OHT 軌道車行走時發生了振動過大的狀況？

OHT對於晶圓片運送過程中掌握了極大的關鍵，異常的振動、運輸的穩定度不夠也會導致品質受損，該如何提早預知呢？

OHT 天車系統

OHT主要搬運的物件是晶圓在半導體成長發展下，無塵室自動化的提升，在需要高度嚴格管理的環境下，多採無人自動化方式搬送系統，OHT就是其中一種。OHT就像是一個小型城市裡的交通運輸系統，在廠內需要通行無阻，並要確認在預定時間朝者指定的路徑移動。

OHT在網路上有多個名稱，稱懸吊式載具、天車系統、空中走行式搬運系統等。主要搬運的物件（乘客）是晶圓，OHT車輛會依循設定的路線行駛，當然也常會遇到其他的OHT車輛，當車流速度、穩定度不穩定時，可能就是因為振動過大、異常或是碰撞的狀況發生，嚴重的話將會導致晶圓片的受損或系統影響。

監測說明

IIoT 無限。工業物聯網
OHT 為無人化駕駛車輛，所以若能確保車輛在運輸過程中的品質，將可避免許多不必要的損失及提升半導體的生產效率與可靠性。在OHT車輛上需要能加裝監測儀器或感測器，透過中央監測 Dashboard 實時監測或發佈警報以及在必要時採取更換零件維護的動作，確保運輸行進路線暢通。