STK

Stocker 儲料設備
如何執行量測?

storker 儲料設備替代了重要傳輸製料工作,該如何進行量測確保運輸過程的穩定度?

預知監診

Stocker(STK)儲料設備該如何進行量測?


#半導體領域

#轉子馬達

#物聯網

#機器學習

#數位轉型

#機械手臂


Stocker 特點
工業4.0時代,許多自動化設備的運作藉以取代人力,加快了速度也簡化了繁重的工作及複雜的流程。隨著半導體與數位化科技的發展,為講求經濟效益,硅晶圓片也越做越大,因此在搬運的過程中,也就更加困難。因此在廠區內架構了自動化運輸系統,如 AMHS(Automatic Material Handling System)自動化物料傳輸系統、OHT天車系統、Storker 儲料設備等就是為了替代這些重要的運輸工作,減輕了操作人員的負擔也避免人為的事故發生。Stocker 在各廠區依據使用性質有不同型態及運作方式。例如ZIP Stocker、Foup Stocker、Tower Stocker、Linear Stocker 等。主要特性大多都是採用模組化架構設計方式,都是要節省空間以及增加使用效率等。



Stocker Crane

如何量測

OLVMS-ML 機器學習智能監控系統
Stocker 在面板廠負責玻璃基板原料、半導體廠內的製品或成品的儲存工作等,以下固德針對 Crane STK 搬運Casette動作行為與煞車伺服馬達的品質狀態進行監測診斷。利用 OLVMS-ML 機器學習智能監控系統學習正確動作行為作為規範,為各別動作進行監測與診斷,透過系統了解設備在哪一個動作出現異常或不穩定的狀態,提早進行預知保養,避免無預警異常的發生。

Crane STK 搬運 Casette 製程


學習 Crane STK 搬運 Casette 動作行為 時序連續動作說明:
Take:Crane 取 Cassette 動作
Put:Crane 放 Cassette 動作
Go:Crane 滑行至最內部
Come:Crane 滑回啟動位置
建立 Take、Put、Go、Come 管理 Pattern

學習Crane STK搬運Casette動作行為


Crane STK 搬運 Casette 製程動作辨認狀況


取 Cassette 動作 (Take)

取 Cassette 動作 (Take)

放 Cassette 動作 (Put)

放 Cassette 動作 (Put)

黃線:機械學習動作規範,白線:即時訊號
系統可自動追蹤手臂動作,同時管理取片、放片動作。無誤認情況
機台正常運行平均動態相似度: 放片-91% 取片-92%
手臂正常運作時,機械學習動作(黃線)與即時訊號(白線)貼合



Crane STK 製程動作-空跑滑行狀況 (無 Casette )


Crane 滑行至最內部 (Go)

Crane 滑行至最內部 (Go)

Crane 回到啟動位置 (Back)

Crane 回到啟動位置 (Back)

黃線:機械學習動作規範,白線:即時訊號
Crane 空跑穩定動態相似度分數高!



Crane STK 搬運 Casette 載重滑行與空跑比較


Crane 滑行至最內部 (Go)

Crane 滑行至最內部 (Go)

Crane 回啟動位置 (Come)

Crane回啟動位置 (Come)

黃線:機械學習動作規範,白線:即時訊號
Crane載重後運行不一致導致動態相似度分數下降!
手臂正常運作時,機械學習動作與即時訊號不一致!

Crane 空跑四顆馬達時序狀況振動值比較


Crane 空跑四顆馬達時序狀況振動值比較

馬達運行可視化說明


馬達運行可視化說明


Crane STK 負重馬達 L1、L2機械學習判別比較


Crane STK 負重馬達 L1

Crane STK 負重馬達 L1

Crane STK 負重馬達 L2

Crane STK 負重馬達 L2

測量結論


使用廠內 OLVMS-ML 監測測試得知 STK L2會有突波異常情況與 (以健康馬達為Pattern) 相似度差異大而警告。L1 受 L2 影響相似度跳動、頻率相異常情況。R2 也受 L2 稍影響相似度稍微跳動 (跟R1比較)。僅離 L2 最遠的 R1 比較穩定。

OLVMS-ML 機械學習智能監控系統可用一顆Sensor 了解各軸向運行狀況後,再使用 VMS-PH 動態分析儀排查異常原因。


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