TurboPump

TurboPump出現動不平衡?

Turbo Pump磁浮軸承最重要是動平衡問題,轉速頻率相對較大就是動平衡不好。該如何進行量測呢?

預知監診

Turbo Pump 出現動不平衡的現象?


#半導體領域

#轉子馬達

#預知保養


渦輪泵(Turbo Pump) 作動原理
渦輪泵,是利用高速旋轉葉片將動能傳給氣體分子,產生定向流量而抽氣。動片與靜片交替排列,葉片傾斜表方向相反,由十多個動靜葉片組成。渦輪泵以外型可以分為兩大類,垂直氣式(Vertical type)及水平式(Horizontal type)。垂直式較水平式體積小,當有異物掉入泵浦中,渦輪葉片容易損壞,並且修復困難。穩定性稍差,容易有振動的問題。但優點是能夠直接取代擴散泵、真空計等,並且較水平式便宜,與真空系統連結時較具彈性,而磁浮軸承式渦輪泵較不受油污染的威脅。

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如何解決

IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀
對於Turbo Pump磁浮式軸承振動量較小,須以頻譜分析作為比較。另外,磁浮式軸承最核心的問題是的是動平衡,例如:轉速頻率相對較大的就是動平衡不良。我們藉由攜帶式巡檢分析儀器來確保泵浦的品質,並進行預知保養避免發生無預警停機的狀況。

Turbo Pump 如何量測?


量測方式:利用轉子頻譜分析功能進行量測
設備 A / B 在223hz工作轉速頻比較

Turbo Pump 如何量測
Turbo Pump 如何量測

設備B 有明顯動不平衡現象!


設備A

設備A

設備B

設備B

測量結果與建議

・TURBO PUMP振動量極小須以頻譜分析做為比較
・TURBO PUMP磁浮軸承最重要是動平衡問題,轉速頻率相對較大就是動平衡不好。
・設備B 在 223RPMS 明顯有動不平衡現象,約設備A 振動量的8.6倍
・無論徑向(黏貼、手壓)、軸向檢測皆發現設備B 明顯動不平衡差異建議檢測。


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