如何快速排查 Vacuum Dry Pump 異常原因？

監診實績｜如何快速排查 Vacuum Dry Pump 異常原因？

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半導體製程中，有許多需要利用真空泵的設備，真空泵主要藉由高速轉子壓縮氣體或動能傳遞將氣體排出。其中以 Dry Pump 影響製程關係重大，該如何避免設備無預警停機？

乾式真空泵原理

真空泵主要藉由高速轉子壓縮氣體或動能傳遞將氣體排出，乾式泵浦主要有魯式、螺旋（screw）、挖爪（claw）、分子曳引（molecular drag）與渦輪分子等型式。轉子高達數千至數萬rpm，抽氣速率遠大於機械迴轉泵浦。半導體製程設備中，有許多需要利用真空泵的製程。例如在擴散製程中若出現真空度不足或真空泵浦突然故障停機，將會導致大氣回灌、particle過量等。導致晶圓品質異常、報廢等。

監測說明

Dry Pump線上監測系統
透過長期監測真空泵轉子的狀態，確保設備運轉中製程的穩定，落實預知保養，避免無預警停機的發生。並藉由SOA頻譜總量，快速抓出異常原因，進而縮短維修時間。

量測狀況

轉子品質管理規範：
根據不同機械種類分類 (馬力大小分類、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構) ，使用該種類指定之特定頻寬，並濾除頻寬內特定頻段，依需求將規定振動物理量之振幅以0-Peak、Peak to Peak、RMS值呈現。

· 適合套用 ISO 第一類規範管理：振動最大限制值管控
· 適合套用 ISO 第二類變異管理：振動變異管控

1. 根據既有量測基準，以機械振動變化量作為品質依據

Zone A 新機械，振動品質優良。
Zone B 可接受的振動值，可長時間使用。
Zone C 不可長時間使用，須進行保養修復。
Zone D 異常的振動值，建議即刻修復。

ex：類別為300KW-50MW，軸高大於等於315mm，剛性結構。此類別Zone B上限為4.5mm/s，因此品質界線值為：標準值(前測穩定值)±(4.5mm/s)x25%

2. 若無先前量測值，第一次先以“1 ”建議標準區域方式量測，後再建立量測標準值

機械異常警戒值，最高仍不得超出種類內ZoneC標準。若超出 ZoneC 請依循方式 1 建議做法，進行保養修復。若使用此評鑑方法，每次量測感測器需放置於相同測試點。必須先有先前量測值作為標準，後續定期量測相同測試點，振動值不得超過規定的變化量 Δ [變化量 Δ :該類別群組 Zone B 上限值的 25%]