光阻塗佈機手臂
如何確保穩定度?

光阻塗佈機手臂動作如何監測，確保設備穩定度?

專用於光阻塗佈機搬送晶圓的機械手臂
在光阻塗佈過程中會影響晶圓品質的因素有很多，例如手臂的精度、穩定性、速度、機械振動等因素都有密切相關。機械手臂必須具有高度的精度和穩定性，以確保光阻均勻塗佈在整個晶圓表面。如果機械手臂有不穩定性或精確度問題，可能導致光阻層不均勻，進而影響後續製程步驟的品質。機械手臂的振動可能會傳遞到晶圓上，造成振動對光阻均勻性的影響。 因此，確保減小機械振動對晶圓表面的影響是非常重要的。

如何量測

OLVMS-ML 機器學習智能監控系統
藉由 OLVMS-ML 機器學習智能監控系統，根據手臂取放晶圓、移動過程中，X軸、Y軸、Z軸、θ軸動作產生之綜合振動動態，在優良狀態下的進行規範學習，透過重覆性的動作訊號辨識與規範比對結果，細拆檢測手臂Z軸、Ｙ軸θ軸、X軸與是否為穩定運行狀態，當判定為非穩定運作時，提前進行處置，達到機械動作品質檢測與預防保養目的。