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如何检测气压缸作动异常?

监诊实绩|如何检测气压缸作动异常?

气压缸是一种利用压缩气体作为动力,当气压缸发生异常,有可能会造成气压流回流,导致压力无法调节,推力不足,该如何提早发现异常,避免影响制程?

气压缸作动原理

气压缸是一种利用压缩气体作为动力,驱动机构作动产生往复线性运动的机械元件。作动过程中,压缩气体由活塞的一端进入气压缸内,并对活塞施加压力使活塞产生移位。

气压缸发生的异常的原因有很多,例如因为油气污染或阀体磨损所造成的阀芯堵塞、轴心不对中所造成的气压缸不作动、异物进入所造成的拉缸现象等。该如何透过监测气压缸,避免因为过度磨损、老化、变形等而影响制程?

气压缸

解决与监测说明

VMS-PH 设备动态分析仪
量测气压缸在制程中的重复性生产行为,根据制程区分各讯号区段。根据螺杆的运行状况了解气压缸的作动品质,进而透过VMS-ML机器学习智能系统线上监测并进行趋势化管理机台与预知保养规划。

量测状况

螺杆振动量测实际情形

振动讯号

振动讯号

将螺杆振动讯号进行可视化管理。

Zoom in 0~20sec讯号区域

Zoom in 0~20sec讯号区域

螺杆制程4周期振动讯号差异比较

A 运行状况较为稳定

A运行状况较为稳定

B 时序差异大较不稳定

B时序差异大较不稳定

基板全流程气压缸量测

基板全流程气压缸作动讯号

基板全流程气压缸作动讯号

Zoom in讯号

Zoom in讯号

气压缸抽真空使得顶针盖(胡椒盖)贴合切膜后泄压,全流程讯号可视化管理。

测量结论

量测结果与讨论
量测结果与讨论

平均值管理:工作区间及时动作讯号变化管理
平均标准差:工作区间及时动作讯号稳定性

VMS-PH 动态分析监测系统特色在于边缘端将讯号处理演算法建置于韧体内,自动撷取在边缘端取得有效最大讯号、有效区间周期内的最大讯号群体标准差、或是特征突波点,再将特征数据传送至管理系统,执行趋势化管理机台预知保养监测,并且在系统中建置资料库收集特征数据。

优点是不会将厂端网路频宽耗占过多,收集的特征数据(已作适当清洗)适合客户自行执行 AI 训练,优化自有AI监测模型。

VMS-PH 设备动态分析仪
VMS-PH 设备动态分析仪
VMS-PH 设备动态分析仪

精确找到设备问题症结点