Support

如何监测晶圆切割机机构动作品质？

监诊实绩｜如何监测晶圆切割机机构动作品质？

晶圆切割机是半导体制程中的关键设备，其品质对整个制程和最终产品的性能都有重要影响。如何确保切割机机构动作品质稳定度？

晶圆切割机

晶圆切割机的稳定性与制程关系 晶圆切割机的稳定性直接关系到制程的稳定性，一台高品质的切割机需要能够确保切割的精确性和一致性，并实现更高的切割精度，确保元件的尺寸和形状符合规格。高效能的晶圆切割机能够提高制程速度，从而提高生产效率，这对于大规模生产和紧凑的生产排程是至关重要的。因此，如果切割机效率低下，可能会成为整个制程的瓶颈，影响整体生产能力。我们藉由监测切割机机构动作来确保切割机的品质，进一步让晶圆制程能达到一致的标准，减少制程变异性，提高制程稳定性。

监测说明

VMS-ML 机器学习智能监控系统
针对主轴启动升速、晶圆切割…….等机构动作中撷取同步产生的振动讯号，进行优良状态下的规范学习及动作判别，透过与规范比对结果，检测重复性的动作，达到机械动作品质检测目的。