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Particle过浓将会影响晶圆的品质？

监诊实绩｜Particle过浓将会影响晶圆的品质？

在半导体制程中，这些微粒子可能引起制程中的不稳定性，微粒子的浓度过高，将导致不均匀的材料去除或沉积？

微粒子Particle过浓造成影响

微粒子形成原因：
微在半导体制程中，微粒子是指极小的固体或液体颗粒，其直径通常在微米或纳米尺度。这些微粒子可能引起制程中的不稳定性，例如在蚀刻、沉积或光罩制程中，微粒子的浓度过高，将导致不均匀的材料去除或沉积，进而影响元件的制造品质瑕疵或不良，增加产线制造不良品的机率。

微粒子形成原因：
微粒子的形成原因多样，可能来自内部或外部环境。机台内部零件的磨损可能产生微粒子。这包括机台内的输送系统、轴承、密封件等。长时间运转和使用的机台，由于零部件的磨损，可能释放微小的颗粒。在制程中，化学反应可能导致材料的分解或产生副产物，这些副产物可能以微粒子的形式存在。例如，在某些化学制程中，气体或液体的反应可能产生微细的固体产物。

外部环境的因素，如空气中的尘埃、露点变化等，都可能影响机台内的微粒子水平，这就是为什么无尘室环境的控制对于半导体制程至关重要的原因之一。另外，操作人员的衣物、鞋子、工具等都可能带进微粒子，尤其在无尘室环境中，控制人员的衣物和行为是至关重要的。

其他如机台的设计可能也是微粒子产生的原因之一。机台可能在运转过程中产生摩擦，这可能释放微粒子。制程使用的材料品质也可能影响微粒子的生成，低品质的原材料可能含有杂质或不纯净，这些可能在制程中释放微粒子。

如何减少微粒子的形成：
为了减少机台内微粒子的形成，使用者需定期对机台进行清洁和保养、使用高品质的材料，以及实施严格的无尘室标准和操作规程。定期测量无尘室中的微粒子浓度。这有助于早期检测浓度升高的情况，并能够及时采取措施。并在适当的区域使用防护措施，例如机台罩、防尘罩等，以防止微粒子的进入或扩散。

监测说明

IIoT无限。工业物联网
利用工业物联网无线式微米粒子监测系统，可监测范围为0.3 微米(µm)～10微米(µm)，由自体收发无线讯号，1GHz 以下频段不干涉厂内无线讯号、具有低频穿透能力优之特性、不需广布讯号线，大幅节省配线、监测成本。主系统最多可扩充300个监测点，符合成本效益并且节省人员巡检人力，实时监测粒子浓度，一有过标，即时警示。