PVD 制程中的设备状态该如何掌握及量测？

监诊实绩｜PVD 制程中的设备状态该如何掌握及量测？

Pvd，物理气象沉积，工业制造里镀膜技术的一种。要营造一个良好的制程环境，才能够有效提高产线良率。而PVD制程所需要的设备状态该如何掌握及量测？

物理气象沉积 Physical vapor deposition

Pvd，物理气象沉积英文：Physical vapor deposition，工业制造里镀膜技术的一种，主要利用物理方式来加热或激发出材料过程来沉积薄膜的技术，物理方式是指物质的相变化现象。在半导体制程中属于表面处理制程，通常在真空下加工进行。例如：蒸镀源由固体变成气体，然后凝结在晶圆表面上。

PVD方法分为蒸镀（Evaporative PVD）、溅镀（Sputtering PVD）、离子镀（Ion plating PAPVD）。显示面板及触控面板的生产工艺也皆使用PVD镀膜方式。由于在PVD薄膜沉积所需要的是一个完美的真空环境，因此在各设备上更需要做详细的检测与监测。

解决与监测说明

VMS-PH 携带式量测分析仪
对于要营造一个良好的制程环境，有效提高产线良率。而PVD制程所需要的设备状态该如何掌握及量测呢？在此我们藉由量测PVD制程中的磁性油封、减速机、真空腔体、马达等，来实际量测比较结果，从中了解设备状态。

把量测到的数值直接转换成可以直观形象理解的图形或图像表示方式，进而发现制程隐含的讯息做为日后线上监控的依据。进行设备的巡检监测及预知保养，避免制程中无预警停机或异常的发生。

量测状况

PVD 磁性油封实际量测

磁性油封是由静环与动环两部分组合而成，运用磁力技术，采用机封理念，全浮动密封面结构。
PVD磁性油封设备A/B/C正转逆动态分析比较

磁性油封设备 B/C 被同颗马达带动下，磁性油封设备C 正转时振动量较高。
磁性油封设备 A 正逆转皆有跳动磨损讯号产生需再观察。

通常会产生漏油异常的原因：
油封不良：制造质量不佳，有缺口、或弹簧过松等。保养处置：更换油封或调整油封弹簧等。
装置不良：工作磨损严重、呈现无光泽、灰尘等。保养处置：更换油封、润滑清洁等。

PVD 减速机实际量测

减速机是设备中重要的驱动部分，是由透过齿轮等装置来降速或增大转矩，传动零件、轴承、主轴、箱体及其附件所组成。
减速机设备A/B/C正转逆动态分析比较

空跑状态

制程状况

减速机设备 B 正逆转差异比较明显，后续须注意其变化。

PVD 真空腔体实际量测

减真空腔体，英文Vacuum chamber，因接真空泵浦让腔体维持真空状态，借以进行物理实验或进行镀膜。
将感测器贴于Chamber4下方部件位置，相同量测点，量测 A 与 B 并比较其差异性

设备 A 所测得的动态讯号较设备 B 来得不规律。
→ 由测得的动态讯号可证明设备 A 内确实有机构造成异常震动。

测试结果设备 B PVD阀门作动造成的振动较设备 A 大。
→ 比较得知设备 B 虽相对规律，但其闸门开关所产生的震动大于设备 A ，建议进一步长期观测其健康状况。

OIL PUMP 实际量测

测量结论

对于要营造一个良好的制程环境，有效提高产线良率，必须要掌握设备状态。针对各式设备问题可利用 VMS-PH 携带式量测分析仪快速进行检测。并将其异常特征搜集起来，日后可作线上监控的依据。

VMS-PH 携带式量测分析仪