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如何确保Scrubber清洗制程动作位置？

监诊实绩｜如何确保Scrubber清洗制程动作位置？

晶圆清洗中，常藉由Scrubber机以溶液清洗晶圆表面来去除微粒（particle），清洗晶圆程序虽然简单，但Scrubber的清洗过程更直接影响到晶圆品质，该如何确保动作稳定？

晶圆清洗

晶圆清洗中，常藉由Scrubber 机以溶液清洗晶圆表面来去除微粒（Particle），能有效去除表面各式污染源，并且还要能够避免对晶圆造成表面的缺陷或刮伤，此时清洗的Spray Nozzla 喷射角度与流量都会影响到冲击力道、压力位置等，更是直接影响到晶圆的品质。

Spray nozzle原理
Spray nozzle是一种雾化喷嘴，以氮气内部压力推动液体，高速流动冲击形成雾化水滴。并利用雾化水滴喷洒于晶圆上，能够有效移除晶圆上的小微粒。我们藉由确保Spray nozzle是否有移动到指定位置外，也可发现此动作与相关物件的运行状况做趋势化管理。

监测说明

VMS-ML 机器学习智能监控系统
透过传感器将动态讯号转换成可视化图像表示方式，进而发现制程隐含的讯息做为日后线上监控的依据。此外，伺服马达带动其他物件运行，利用机器学习智能监控系统管理，确保伺服马达每次作动的一致及 Spray Nozzla 是否有移动到指定位置。