如何确认镀膜製程 Coating 的设备稳定度？

监诊实绩｜如何确认镀膜製程coating的设备稳定度？

半导体製程中的涂佈镀膜，若是出现异常抖动容易造成涂佈不均的现象，该如何藉由量测设备来确认製程的稳定度？

镀膜的方法

镀膜的方法大致可以分为乾式镀膜（dry coating）和湿式镀膜（wet coating）。一般而言，藉由涂佈实现的镀膜技术。而其中湿式镀膜由于不需要真空环境，适合大量快速生产，因此较广泛应用于工业领域中。涂佈液均匀涂佈于基材上而后经由乾燥应化过程中进行固体薄膜化技术。

旋转涂佈机（spin coater）原理
旋转涂佈属于湿式镀膜，其基材（硅晶圆片或其他平滑物件）以真空接吸方式，于物件中心落下涂佈液体，利用旋转离心力的方式平均散布液体于物件上并快速甩出多于液体并令其形成一层薄膜，而转速大小、旋转时间、乾燥速度等都将影响薄膜形成的厚度。另外，在製程中如设备出现不正常振动，容易造成涂佈不均的现象。

解决与监测说明

VMS-PH 设备动态品质分析仪
因此我们藉由VMS-PH的动态分析功能，量测coating机台及机台的nozzle的转速运行状况，透过比较不同转速其过程中的振动讯号来得知製程中是否稳定。作为规范，为各别动作进行监测与诊断，透过系统了解设备在哪一个动作出现异常或不稳定的状态，提早进行预知保养，避免无预警异常的发生。