光阻涂佈机手臂动作如何监测，确保设备稳定度？

监诊实绩｜光阻涂佈机手臂动作如何监测，确保设备稳定度？

专用于光阻涂佈机搬送晶圆的机械手臂必须具有高度的精度和稳定性，确保减小机械振动对晶圆表面的影响，如何确保手臂稳定度？

光阻涂佈机手臂

专用于光阻涂佈机搬送晶圆的机械手臂
在光阻涂佈过程中会影响晶圆品质的因素有很多，例如手臂的精度、稳定性、速度、机械振动等因素都有密切相关。机械手臂必须具有高度的精度和稳定性，以确保光阻均匀涂佈在整个晶圆表面。如果机械手臂有不稳定性或精确度问题，可能导致光阻层不均匀，进而影响后续製程步骤的品质。机械手臂的振动可能会传递到晶圆上，造成振动对光阻均匀性的影响。因此，确保减小机械振动对晶圆表面的影响是非常重要的。

监测说明

VMS-ML 机器学习智能监控系统
藉由 VMS-ML 机器学习智能监控系统，根据手臂取放晶圆、移动过程中，X轴、Y轴、Z轴、θ轴动作产生之综合振动动态，在优良状态下的进行规范学习，透过重复性的动作讯号辨识与规范比对结果，细拆检测手臂Z轴、Ｙ轴θ轴、X轴与是否为稳定运行状态，当判定为非稳定运作时，提前进行处置，达到机械动作品质检测与预防保养目的。