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如何确保晶圆切割机制程的稳定度？

监诊实绩｜如何确保晶圆切割机制程的稳定度？

要得到更高的晶圆良率，除了要掌控周遭环境的可控因素，更必须要让制程设备都能拥有稳定执行的能力，而晶圆切割机深切影响着晶片的质量，该如何确保切割机制程的稳定度呢？

晶圆切割机

要得到更高的晶圆良率，除了要掌控周遭环境的可控因素，更必须要让制程设备都能拥有稳定执行的能力，而晶圆切割机深切影响着晶片的质量，该如何确保切割机制程的稳定度呢？

晶圆切割机作动原理
切割机主要部件为：主轴、刀具、及晶圆盘（承片台）等，期作动过程主要是利用不同材质的软硬刀具，如：金属、陶瓷、树脂、电铸等，并配合高转速主轴马达及精密定位系统，使得进行切割工作。

软刀与硬刀的区别
软刀依照结合剂的不同分为电铸结合剂划刀、树脂基划片刀、金属划片刀、陶瓷划片刀等，用刀成本较低，但使用上要求精度。刀片可用三种直径，外圆磨损后可更换小刀盘继续使用。在正式切割前需要先修磨以符合锋利度切割要求。

而硬刀一般均采用电铸成型，（与铝合金刀架组成一体的砂轮片）属于一次性使用，成本较高。

解决与监测说明

IMS-DS 晶圆切割机品质管理分析仪
针对切割机主轴的工作转速、不同刀具等量测，藉由量测结果来确认刀具与主轴间的工作情形，进一步确认设备的健康状态并在部件发生问题前提早保养维修等。