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实验室环境微振动影响设备准确度？

监诊实绩｜实验室环境微振动影响设备准确度？

利用 VC-Curve 等级规范来规划安置精密仪器设备，避免因为环境微振动造成设备表现不良或是准确率下降所增加的成本浪费。

环境微振动

环境微振动是指在自然环境或建筑物中引起的极小振动，无论是厂区内部楼板的强度、设备本身的运转、厂房其他设备的影响或厂房内的噪音、工作人员或搬运车辆移动时所发生的振动，都会成为振动的来源。对于一些对振动相当敏感的领域，例如：

电子制造业： 环境微振动可能导致电子元件焊接不良，进而影响电子产品的品质和可靠性。或是在微振动异常的环境中进行电子元件的测试可能变得更加困难，因为振动可能影响测试仪器的正确操作。

研发实验室： 在需要高精度实验的环境中，微振动可能导致实验结果的不确定性，影响研究的准确性。或是导致科学仪器精度下降，进而影响实验的可靠性。

半导体领域： 在半导体制造中，微振动可能影响光刻机器的稳定性。光刻是一个需要高精确度的制程，用于将图形转移到半导体晶片上。微振动可能导致光刻机器的振动，使得图形定位不准确，从而影响晶片的制造精度。另外，微振动也可能影响化学气相沉积（CVD）制程的稳定性。 CVD是一种用于在晶片表面沉积薄膜的制程，微振动可能导致气体分布不均匀，影响沉积层的均匀性，进而影响晶片的品质和性能。

因此，预先检测环境是否适宜，避免因为环境振动造成设备表现不良或是准确率下降所增加的成本浪费。

避免或减轻环境微振动的影响，可以考虑以下措施：

振动隔离技术：使用振动隔离装置，如空气浮升台、弹簧隔振器等，以减少外部振动对设备或实验的传递。这些技术能够有效地隔离地面振动，提高设备的稳定性。

机械设备安装：妥善安装和固定机械设备，以减少设备运行时产生的振动。远离机械震动和其他可能引起振动的源头的位置，有助于减少外部振动的干扰。

环境振动监测：实施环境监测系统，以定期监测并记录环境微振动的水平。这有助于识别振动源并采取相应的控制措施。

定期维护设备：定期检查设备状态和维护隔振装置和其他防震设施，以避免因为机械运行造成的过大的异常振动，并可确保其正常运作。

监测说明

VMS-EM 环境微振动检测分析仪
利用 VMS-EM 环境微振动检测分析仪搭配感测器及方向转接块，为预定的精密设备环境进行量测，确认环境微振动品质是否能够符合并找出比较合适的环境进行安置设备。