解决方案
量测仪器
监测系统
物联网
避免环境振动造成设备表现不良
环境微振动
微振动来源大致分为哪些？
何谓微振动？微振动的定义泛指频率在 2~100 Hz，振幅在 50 μm/s 以下之振动量。无论是厂区内部楼板的强度、设备本身的运转、厂房其他设备的影响或厂房内的噪音等，以及工作人员或搬运车辆移动时所发生的振动，都会成为振动的来源。而厂区外的影响则包括外部交通工具、厂外经过的重载车辆、附近厂房的施工、建筑工地打地桩、风力 、地震等只要会对建筑产生作用力的都会影响到建物发生微振动，也都是微振动的来源。
设备本身运转
隔震平台部件
人为工作影响
搬运车辆移动
厂外振动影响
自然天候因素
为什麽需要？
为什麽厂房需要特别注意环境微振动？
设备会因为环境的振动而影响得到的结果，而对于因为外界环境的振动影响要求也会因为设备精度有不同的条件要求。一般来说，要求越高精度的设备，所要求的环境条件越高。例如原子力显微镜、电子显微镜、高倍率显微镜、半导体的曝光机、光学元件模组镜面加工等等，由于这些设备会透过外界的振动将有很大的机会影响到设备机能的表现及产品的成果。
当厂房环境振动的条件无法达到设备本身需求的振动规格时，将会造成製程设备的良率降低，也会造成量测仪器无法放大更高的倍率以检测愈来愈细微的线宽，从而影响到整个高阶製程的发展，因此，环境微振动已经被认为是一种可以直接影响生产良率的事实。
特点说明
针对厂区环境微振动量测
半导体等科技产业由于使用大多是精密的设备或仪器，对于环境的振动势必要求较高，使用者虽感受不到环境的微小振动，但却会反应在产线机台或产品品质上。
在装机若能确认装机环境是否适宜，便能减少安装时间及后续避震问题状况排除。VMS®-EM 环境微振动检测分析仪针对厂区环境微振动所设计，能有效帮助使用者寻找适宜装机环境。
特点说明
长时间量测与 VC 曲线对照表
环境中会产生微振动的因素有很多，而且有时候发生的时间很短暂，因此需要藉由长时间量测，来得知振动原因。
VMS®-EM 环境微振动检测分析仪的长时间环境微振动功能，量测时间最长可到 3 小时，每 10 秒平均出一笔振动速度频谱与 VC 曲线进行比对，软体内附VC曲线等级叙述对照表，让使用者更能够依照对照表了解目前环境振动层级。
特点说明
低频段动态频谱峰值追踪
厂区内包含许多设备机械同时作用中所引发的低频振动，在量测过程中过滤不易。
VMS®-EM 环境微振动检测分析仪的低频段动态分析功能每 5 秒平均出一笔振动值并画出频谱峰值变化，使用者更容易进行比对，让即使背景环境複杂下也能够有效量出振动状态。
特点说明
携带型量测设备随量随存
VMS®-EM 环境微振动检测分析仪携带型量测设备方便使用者随身携带随时量测，简化複杂的量测动作及数据转化并可依照需求建立专案资料夹，整理资料更加方便。
可为厂区新进精密设备预先量测环境，依据量测结果规划摆放设备位置，避免因为不必要的搬移而损坏。
精密设备
环境检测
针对科技厂房环境微振动侦测、精密设备装机前，让使用者预先检测环境是否适宜，避免因为环境振动造成设备表现不良所增加的成本浪费。
功能说明
UI 功能画面
长时间环境微振动
VMS®-EM 环境微振动检测分析仪的长时间环境微振动功能可长时间量测，量测时间可选择 30 分钟/ 1 小时/ 2 小时/ 3 小时，每 10 秒平均出一笔振动速度频谱与 VC 曲线进行比对，软体内附 VC 曲线等级叙述，让使用者更能够依照对照表了解目前环境振动层级。
低频段动态分析与频谱峰值追踪
厂区内包含许多设备机械同时作用中所引发的低频振动，在量测过程中过滤不易。VMS®-EM 环境微振动检测分析仪的低频段动态分析功能每 5 秒平均出一笔振动值并画出频谱峰值变化，使用者更容易进行比对，让即使在複杂的背景环境下也能够得到有效的振动值，量出目前环境振动状态。
加速规增益
VMS®-EM 环境微振动检测分析仪软体内建加速规增益，方便使用者校正加速规，操作简易，只需选择连接加速规之输入通道，输入感度值计算即时频谱以便与校正器进行校正比对。
应用
领域与范畴
01. 高科技厂建厂素地微振量测与分析
02. 科技厂建厂期间各阶段楼板微振动检测分析
03. 精密设备与防振基座微振量测与分析
04. 楼板微振问题诊断与检测
05. 精密设备微振问题诊断与检测
06. 长期微振量测与监测
07. 结构体动态特性测试验与刚性检测
08. 结构体振态量测与分析
09. 基桩、卡车、高铁、火车振动试验
10. 人员步行振动试验
11. 楼板振动传递试验
12. Stocker、AGV、Robot 运转等振动试验
13. 帮浦、马达运转等振动试验
14. 管线振动试验
15. 冲床振动、施工振动试验
16. 地震振动、施工振动监测、设备振动监测
