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什麽是环境微振动？

常见问题｜什麽是环境微振动？

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#半导体领域

#预知保养

设备运转时，就会发生振动。所以泛指工厂内的各式设备、以及工作人员或搬运车辆移动时所发生的振动。厂外经过的重载车辆、或是建筑工地打地桩、风力 、地震等等，只要会对建筑产生作用力的都会影响到建物发生微振动。

什麽是环境微振动？
什麽样的振动是归类于环境微振动？

设备表现不良？环境微振动影响？ 为了避免因为设备机能表现所造成的产品不良，关于环境振动建筑物结构已有制定振动规范标准，不仅仅是要求不能倾斜、倒塌，更不能有会影响设备运作的任何微小振动。无论是厂区内部楼板的强度、设备本身的运转、或厂房其他设备的影响、厂房内的噪音等，都会成为振动的来源。而厂区外的影响则包括外部交通工具、附近厂房的施工、地震等，也都是微振动的来源。

振动来源
厂区的振动来源大致上可以分为哪些？

内部振动源：设备运转时，就会发生振动。所以泛指工厂内的各式设备、以及工作人员或搬运车辆移动时所发生的振动。

外部振动源：厂外经过的重载车辆、或是建筑工地打地桩、风力 、地震等等，只要会对建筑产生作用力的都会影响到建物发生微振动。

先进製程不断的发展与提升，是现在世界各大半导体厂的首要目标，製程能够得以持续的进步，除了大量研发人员的投入，相对应製程设备与量测仪器的投资与技术提升是进步很大之关键，而这些高精密的仪器则更需要有良好的环境才可以发挥其最大的效能。精密製程设备与量测仪器之振动因素已成为高科技产业导入先进製程之主要问题之一，因此各大半导体厂在规划新厂时，振动的影响也势必成为各大半导体厂所必须面对重大的课题之一。

环境微振动
为什麽厂房需要特别注意环境微振动？

设备会因为环境振动而影响得到的结果，而对于因为外界环境的振动影响要求也会因为设备对精度有不同的要求。一般来说，越要求高精度的设备要求越高，例如原子力显微镜、电子显微镜、高倍率显微镜、半导体的曝光机、光学元件模组镜面加工等等，由于这些设备会透过外界的振动将有很大的机会影响到设备机能的表现及产品的成果。

当厂房环境振动的条件无法达到设备本身需求的振动规格(Specification)时，将会造成製程设备的良率降低，也会造成量测仪器无法放大更高的倍率以检测愈来愈细微的线宽，从而影响到整个高阶製程的发展，因此安装精密的隔振动设备，亦即主动式、被动式的隔振动系统，已经被认为是一种可以直接影响晶圆生产良率的事实。

什麽样的振动是归类于环境微振动？
何谓微振动?微振动的定义泛指频率在 2~100 Hz，振幅在 50 μm/s 以下之振动量。无论是厂区内部楼板的强度、设备本身的运转、或厂房其他设备的影响、厂房内的噪音等，都会成为振动的来源 (Source)。而厂区外的影响则包括外部交通工具、附近厂房的施工、地震等，也都是微振动的来源。

厂区环境微振动可适用何种振动规范？
为了避免因为设备机能表现所造成的产品不良，关于环境振动建筑物结构已有制定振动规范标准，不仅仅是要求不能倾斜、倒塌，更不能有会影响设备运作的任何微小振动，这种规范国际标准组织有制定一系列跟机械振动有关的ISO-10816标准，而国外学者依据不同设备的需求提出振动规范，Vibration Criteria，简称VC，定义可参考如下图示：