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旋转机械转子类
监诊实绩案例｜旋转机械转子类监测转子机械可以为厂区带来多方面的效益，透过监测转子机械的运行状态，预防与预测性维护，可以及早检测到潜在的故障或问题。
排气风车马达转动异常影响製程？
排气风车因为马达的突然故障，导致风车无法正常运转，进而对于製程或环境有重大影响，在一些製程中，需要将某些气体或化学药剂快速地从设备中排出，以维持稳定的製程条件。
排气风车马达
Vacuum Dry Pump 异常原因如何快速排查？
半导体製程中，有许多需要利用真空泵的设备。其中以Dry Pump影响製程关係重大，该如何避免设备无预警停机？
Vacuum Dry Pump 异常原因