监测环境温度、湿度、Particles
为什麽需要?
小心!因为环境因子造成的製程不良!
对于部份精密产品製程中,空气中的温度、湿度、微尘浓度等,将会深切影响产品品质。例如:半导体製程中微尘附着在晶片上将干扰电子元件的运作。温度的快速变化可能导致设备中的热膨胀不均匀,进而影响设备的尺寸稳定性或导致元件脱落。高湿度可能导致晶圆表面的水气凝结,进而影响光罩的精度或引起晶圆上的氧化层变化,影响晶片的性能等等。
环境因子物联网主要用于监测环境各项数值,避免因为环境因子过高或过低导致製程产品不良或设备异常。
Temperature
Humidity
Particle
应用说明
专用于监控环境因子的 Envir IoT
温度监测:可达小数点第二位,范围依照感测器分为0~50 °C / 0~100 °C / -50~50 °C。
湿度监测:可达小数点第二位,精度达到 ±2% RH,范围为 0% 至 100% RH。
微尘监测:可检测 PM 0.3、 PM 0.5、 PM 1.0、 PM 3.0 和 PM 5.0 等多种粒径的微尘颗粒。
重要特点:
1. 边缘node即解析并传送物理量(不要送回系统才处理)。
2. 不断线设计(双重保护断线机制)。
3. 断线/警示。
4. 弹性扩充监测点位。
5. 支援多种类讯号:0-5V, 0-10V, 4-20mA, modbus RTU, modbus TCP, I²C, RS485…。
特点说明
即时监测状态 一目瞭然
Envir-IoT 环境因子物联网适用于各式产业的温、湿度、Particles 长时间监测,系统以灯号区分所有数据状态并统一显示于主画面,绿灯代表正常、黄灯代表警告(第一门槛)、红灯代表异常(第二门槛)、灰灯代表未执行监测。点选页籤能够快速切换查看目前状态品质。
正常 各数值在正常范围内。
警告 建议安排时间进行排查或清洁维护。
异常 异常的数值,可能将造成製程不良。
特点说明
长达二年的数据记录
还在浪费时间整理数据统计报表吗?
各式环境因子都需要藉由长时间搜集去观察变化,并且需要详细的数据记录和报告,以便进行溯源和审计。现在要整理这些数据不再需要耗大量时间,Envir-IoT 环境因子物联网支持长期数据记录,内置存储可保存二年的数据。可自动生成日、週和月趋势图,便于质量管理和统计。
特点说明
各数值双重自订阀值
使用者可自行设定温湿度条件的上下限阀值。一旦当环境参数超出设定范围时,系统会通过电子邮件即时发出告警通知,确保快速反应。
此外,Envir-IoT 环境因子物联网还具备上下双重阀值功能,藉由第一道阀值设定,系统发出告警,使用者可开始规划或是提早排查,就能避免红灯异常的出现。
应用范畴
适用于精密产品製程
半导体製造:製程对温湿度和微尘浓度有极高的精度要求,任何微小的波动都可能导致产品缺陷。需要实时监控和快速反应,以避免汙染或环境变化对产品质量的影响。
製药业:需满足GMP等严格的合规要求,确保製药过程的每一环节都在受控环境中进行。微尘和微生物汙染会直接影响药品的质量和安全性。
生物科技:细胞培养和生物实验对环境条件极其敏感,任何波动都可能影响实验结果。需确保实验过程中的无菌环境,防止微生物和微尘汙染。
精密机械製造:微尘颗粒会影响加工精度和产品表面质量,增加次品率。而环境中的微尘会加速设备的磨损,缩短设备的使用寿命。
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