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監測機台內微粒子

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微粒子監測物聯網

解決方案

量測儀器

監測系統

物聯網

服務量測

機台中的微粒子

任何微小的波動都可能導致產品缺陷

各式工業物聯網｜微粒子監測物聯網

為什麼需要？
上片機台為什麼需要微粒子監測？

上片機台內微粒子濃度過高可能導致多種問題，包括產品品質下降、機台運行故障、靜電問題以及環境安全風險。

微粒子附著在工件或材料表面會造成缺陷，如刮痕、異物點或塗層不均勻，進而影響產品性能；它們也可能進入機台的敏感部件，如光學元件或傳感器，導致設備誤差或損壞。此外，靜電作用可能加劇微粒子堆積，形成惡性循環，甚至引發靜電放電損壞元件。

為什麼需要？
機台內微粒子濃度過高造成的製程不良！

CoWos 封裝製程中微塵附著在晶片上將干擾電子元件的運作、降低熱傳導效率等，嚴重影響產品品質。

溫度的快速變化可能導致設備中的熱膨脹不均勻，進而影響設備的尺寸穩定性或導致元件脫落。

而高濕度可能導致晶圓表面的水氣凝結，進而引起 Die 上的氧化層變化，影響晶片的性能等等。

Particles-Iot 微粒子監測物聯網主要用於管理上片機台中的微粒子數量濃度，避免因為微粒子過高導致製程產品不良或設備異常。

經由時間推移，微粒子數量也累積變多

特點說明
專用於監測封裝機台內環境因子

Particles-Iot 微粒子監測物聯網 重要特點：
1. 顆粒物智能演算，滿足不同大氣環境下的準確測量。
2. PID 取樣控制，確保採樣流量恆定。
3. 不斷線設計（雙重保護斷線機制）。
4. 斷線/警示。
5. 彈性擴充監測點位。
6. 支援標準源係數校正。
7. 工業級雷射光源，可靠性高。
8. 實時顯示各粒徑數量、顯示等級。

特點說明
即時監測狀態一目瞭然

Particles-Iot 微粒子監測物聯網針對上片機機台的溫、濕度、particles 長時間監測，系統以燈號區分所有數據狀態並統一顯示於主畫面，綠燈代表正常、橘燈代表警告（第一門檻）、紅燈代表異常（第二門檻）、灰燈代表未執行監測。點選頁籤能夠快速切換查看目前狀態品質。

正常各數值在正常範圍內。
警告建議安排時間進行排查或清潔維護。
異常異常的數值，可能將造成製程不良。
離線設備或感測器為非連線狀態。

特點說明
長達二年的數據記錄

還在浪費時間整理數據統計報表嗎？

各式環境因子都需要藉由長時間搜集去觀察變化，並且需要詳細的數據記錄和報告，以便進行溯源和審計。現在要整理這些數據不再需要耗大量時間，Particles-Iot 微粒子監測物聯網支持長期數據記錄，內置存儲可保存二年的數據。可自動生成日、週和月趨勢圖，便於質量管理和統計。

特點說明
各數值雙重自訂閥值

使用者可自行設定溫濕度條件的上下限閥值。一旦當環境參數超出設定範圍時，系統會通過電子郵件即時發出告警通知，確保快速反應。

此外，Particles-Iot 微粒子監測物聯網還具備上下雙重閥值功能，藉由第一道閥值設定，系統發出告警，使用者可開始規劃或是提早排查，就能避免紅燈異常的出現。

工作原理
流量穩定的抽氣泵
同時輸出六通道的顆粒數

工作原理
高可靠性的工業級雷射，確保量測精度

採用半導體雷射光源，測量精度高

通過氣泵進行空氣採樣，當採樣氣體中的微粒子通過光源（雷射）等收束光束時，產生光散射現象 ; 散射光通過光電變換器變為電信號（脈衝），粒子越大得出該脈衝信號就越大（波峰值），通過此時的波峰值和脈衝數就可得出不同粒徑的粒子個數。

工作原理
藉由空氣微粒濃度作 ISO 潔淨度分級

採用 ISO 14644-1

潔淨室等級標準對照表
相當於 FED 209 等級	ISO 等級編號 (N)	等於或大於該粒徑尺寸之最大允許濃度 (微粒/m³)，如下所示
相當於 FED 209 等級	ISO 等級編號 (N)	0.1 μm	0.2 μm	0.3 μm	0.5 μm	1 μm	5 μm
-	1	10	2
-	2	100	24	10	4
1	3	1,000	237	102	35	8
10	4	10,000	2,370	1,020	352	83
100	5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	29
1,000	6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
10,000	7				352,000	83,200	2,930
100,000	8				3,520,000	832,000	29,300
1,000,000	9				35,200,000	8,320,000	293,000

應用範疇
適用於精密產品製程

應用領域 例如：半導體產業、動力電池製造、生物科技產業、實驗室、製藥業、食品業、液晶面板、精密機械製造業等。

當微粒子濃度過高，例如在動力電池製程中，如果顆粒進入電池的活性材料層，可能會引發微短路，降低電池容量，甚至在極端情況下引發熱失控（如起火或爆炸）。

精度需求：要求精度，任何微小的波動都可能導致產品缺陷。
合規要求：需滿足法規要求，確保製程在受控環境中進行。
污染控制：避免溫濕度和微粒子直接影響質量和安全性。
產品質量：影響加工精度和產品表面質量，增加次品率。