VMS-M14

電動缸作動品質

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氣壓缸或電動缸作動

避免異常振動造成材料產品貼合偏移

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為什麼需要？
製造過程中斷極可能導致失敗！

在 Reflow 段，設備正常作動對製程的穩定性和產品的質量至關重要，如果作動不穩定或是異常振動可能會導致熔化的焊料移動，形成焊料橋接或是產品偏移等現象。

而在製程中任何異常都可能導致焊接過程中斷，造成整批產品失敗或是需重新開始焊接過程。因此，需要確保每一個流程順暢穩定。

特點說明
防止 Die shift，提高良率！

在 Reflow 段，加熱使焊料熔化並重新凝固，以實現芯片和基板之間的牢固連接。在氣壓缸或電動缸推動加熱盤面上升、下降時進行回流焊接時，如果氣壓缸運動不穩定，可能導致焊接區域材料產品偏移。

透過VMS-M14 動態監控系統監測鎖定氣壓缸或電動缸推動加熱盤面上升、下降時特定動作所產生的動態振動特徵值，以避免因為機構老化或故障產生異常振動造成材料產品貼合時偏移。

特點說明
即時顯示狀態，並阻止異常

為了決定在何種情況下攔截訊號，先於 Cylinder 推動主軸安裝感測器，透過VMS-M14 動態監控系統量測上升、下降時所產生的振動值。並將圖形特徵定義數字化數據，建立大數據資料庫，並藉由使用者定義門檻值，即時管理 Cylinder 的狀態品質。

主畫面以紅綠燈即時顯示，狀態一目瞭然。當振動值超過了門檻，機台能第一時間即時截斷訊號，避免後面的晶圓片繼續運轉造成材料貼合偏移或破片。

紅燈代表異常，並搭配蜂鳴器提醒使用者

特點說明
趨勢圖預測維護，確保製程穩定

當氣壓缸如果出現位置偏差，無法到達預定位置，或者運動不連續、存在抖動，這可能是因為氣壓缸出現機械故障或控制系統有問題

。例如：速度波動過大或出現異常的加速/減速變化，可能表示氣壓缸內部有磨損、潤滑不足或者氣動系統有洩漏等。

利用VMS-M14 動態監控系統量化趨勢品質，協助排定預知保養時程。長期收集紀錄，藉由趨勢變化了解異常發生時間，並且安排預知保養時程，確保製程的穩定性與產品質量。

特點說明
全自動學習紀錄，建立監測模型

VMS-M14 動態監控系統以全自動學習記錄方式，自動學習時間內振動最大值或是手動輸入規範。

點選量測區可進入各區塊詳細趨勢分析，當監測的動態振動值超過了預定門檻，機台能第一時間發出告警。此外，使用者可依趨勢圖表了解機況，並進一步為日後預知保養提供了設定點的參考。

效益
有效避免不良品的產生

VMS-M14 動態監控系統VMS-M14 是針對 2.5D 製程中的 Die Bonder 及 Reflow 組合製程機台所設計的智能監測系統。在 Filp chip bonding 段監控覆晶上片機台，針對上膠後與產品材料貼合的品質監控，以避免因為機台老化或機件故障產生異常振動造成對位偏移;在Reflow 段，監測鎖定氣壓缸或電動缸推動加熱盤面上升、下降時特定動作所產生的動態振動值，以避免因為機構老化或故障產生異常振動造成材料產品貼合時偏移。

當監測的動態振動值超過了預定門檻，機台能第一時間發出告警。此外，使用者可依趨勢圖表了解機況，並進一步為日後預知保養提供了設定點的參考。