上片伺服轴与吸嘴压力监测
为什麽需要?
上片机动作异常?
牵一发而动全身的利害关係
固晶製程中的上片机负责将整片晶圆上的晶片进行分离,并将这些晶片放置于封装基板上。因此其定位需能提供微米级别的高精度控制及稳定度。
上片机的各向移动轴运行属于高强度的连续过程,当马达运行不稳定或出现故障,将会导致晶圆上片定位不准确,影响整批的产品质量、造成废品及产线停滞。
需要同时精确掌握吸力与压力
在上片机的 Pick & Place 过程中,吸嘴依靠真空压力产生吸附力,将晶圆或晶片从一处移动到另一处。真空压力的大小直接决定了吸嘴的吸附能力。在吸嘴与晶圆表面接触时,需要施加适当的接触压力以确保稳固抓取。
过小的压力可能导致吸附不牢,而过大的压力可能会晶粒损坏,导致产品缺陷和损耗。
为什麽需要?
气压缸品质影响对位?
气压缸失常,产品报废!
在上片段中,气压缸施加的压力确保了焊料均匀分佈,并且焊点形成牢固的连接。气压缸发生的异常的原因有很多,例如因为油气汙染或阀体磨损所造成的阀芯堵塞、轴心不对中所造成的气压缸不作动、异物进入所造成的拉缸现象等。
当气压缸作动不稳定时,可能会导致 Die 的对位不准确,影响电气连接,最终导致产品功能失效。
特点说明
确保上片机移动轴品质
各轴电流讯号异常显示红灯
外接电流钩表 sensor ,不须与设备讯号对接! 立即开始,监测 X、Y、Z 马达电流讯号。
上片机的各向移动轴马达带动了Bond Head的移动,马达稳定运行,移动轴就能稳定工作。当马达发生了润滑不足、卡阻磨损等都会增加了机械阻力,导致马达需要更多电流来保持功率输出,因此造成马达运转时电流大幅上升发生异常振动。
因此,我们藉由DB-IoT 上片机品质监测物联网监测移动轴电流变化来发现初期的异常,并及时处理,以确保上片机的各向移动轴运行稳定。
透过监测运动轴电流讯号,发现初期异常!
特点说明
人机比大幅升高趋势,有效提升管理效率
DB-IoT 上片机品质监测物联网统一整合上片机台的即时状况,工程师或作业员不再需要长时间待在机台旁边,而是集中在各站情室中心,若机台出现告警通知时再进行排除作业,能够空出双手作更有价值的事。
机台统一整合监测,即时告警通知!
特点说明
排定维护优先顺序
厂区为了需要满足客户订单及市场需求,任何停机维护都可能影响生产计画或导致产量下降。因此机台安排维护排程时,需要优先考虑最重要或最紧急的程度。
DB-IoT 上片机品质监测物联网以红绿灯方式为机台显示判定结果,使用者可藉此排程保养,并且系统提供趋势图,使用者可藉由趋势图比较回厂后的效益。
预知保养的依据与回厂效益比较!
特点说明
判定维修位置
上片机由複杂的机械部件组成,不同系统之间高度的交互作用,导致故障原因的複杂化,增加了判定维修位置的困难。该如何快速判定故障位置,缩短维修工时?
DB-IoT 上片机品质监测物联网可自行设定门槛管理,并且各轴向都有独自的显示状态,除了能了解机台运行的电流变化,更可以得知需要维修的轴向位置,帮助缩短查修工时。
可自订门槛并显示异常轴向!
特点说明
界定负压异常与门槛设定
压力异常有可能电磁阀损坏 or 管路破损
上片机的吸嘴由于压力调节不稳定,可能会导致吸嘴压力不足无法有效吸住晶圆,或是因为压力过大导致晶圆被内裂,将影响后续製程的正常运作及产品品质。
· 每次动作皆存取数据档,提供日后异常分析
· 以动态流程区间做趋势图,作为第二种异常判别标准
DB-IoT 上片机品质监测物联网在固定时间点内,确认是否有触发动作,提取负压特徵值,并由此特徵值设置门槛,如:负压最小值高于-40视为负压异常,因此压力异常有可能电磁阀损坏或管路破损。
提取特徵值并建立门槛!
特点说明
移动轴品质数据精炼并长期纪录
详细记录异常位置与时间
为确保每次吸附和搬运动作一致,保持产线高效运行。当上片机出现动作异常时,需要立即进行排查,为减少动作错误和失败率,提高生产效率,需要详细数据进行分析。
透过DB-IoT 上片机品质监测物联网能追溯详细数据纪录,藉由分析数据、动作频率,有助于迅速定位故障原因、缩短故障排除时间,帮助使用者做出更好的决策。
帮助定位故障原因,快速排查!
应用范畴
晶粒对位上片製程监测
Support
其他半导体领域相关