長晶炉の溶液面に目視で確認できる振動現象がある場合、異常振動源を特定する方法は？

測定状況

長晶炉の振動異常をどのように監視するか

長晶炉の振動源を特定する方法
VMS®-PH 動的品質分析装置を使用して、正常な機械と異常な機械の比較を行い、適切な測定点にセンサーを取り付けて分析します。結果から、長晶炉1の水平方向および垂直方向の振動が長晶炉2に比べてはるかに大きいことがわかり、人間の経験とデータ結果が一致することが確認されました（肉眼で長晶炉1の振動が長晶炉2より大きいことが確認されました）。したがって、この測定点のデータは今後の液面振動の状況を判断するための基準として使用することをお勧めします。この測定点のデータを蓄積することで、液面振動が基準に合っているかどうかを確認できる品質のしきい値を構築できます。

坩堝の可能な振動源調査分析

振動源の調査
左の図は長晶炉1の測定結果であり、明らかに下部機構の振動が磁流体の水平方向および垂直方向よりもかなり小さいことがわかり、下部構造が振動源ではないことが確認されました。右の図は長晶炉2の測定結果であり、下部機構および支架の振動も磁流体の水平方向および垂直方向より小さいことがわかり、支架および下部構造が振動源ではないことが確認されました。長晶炉1および長晶炉2の振動源調査を通じて、下部構造と支架の測定点を除外し、モーターと減速機の振動状況に差異があるかを調査しました。

モーターおよび減速機の測定

精密で複雑なプロセスを持つ機械設備
減速機の振動は基本的にモーターによって駆動されます。長晶炉2のモーター振動量と減速機振動量はほぼ同じですが、長晶炉1のモーター振動量は明らかに大きく、振動はカップリングを通じて減速機に伝わり、その後小さくなります。したがって、長晶炉1のモーターが振動異常の原因である可能性があります。

測定結果

振動源
スペクトル分析 振動伝達率をスペクトル分析し、振動成分を分析することで、磁流体の振動成分がすべてモーターおよび減速機から来ていることが再確認されました。振動伝達経路は、モーター＞減速機＞磁流体です。今後、減速機の振動がモーターより大きくなる場合は、減速機の異常が考えられます。また、今後、磁流体の振動が減速機より大きくなる場合は、磁流体の異常が考えられます（下図参照）。長晶炉1および長晶炉2の測定比較により、振動源は外部機械の干渉や下部構造の影響ではないことが確認されました。溶液の振動の主な原因は、モーターの振動異常に起因しています。

メンテナンスの提案

マシンの振動を緩和するための最初の手順として、モーターのメンテナンスまたは修理を推奨します。モーターの品質が良ければ良いほど、他の機器部品の摩耗率を低減できます。

VMS®-PH デバイス動的分析装置を使用して、磁流体の測定点を設定し、液面の振動の標準的なしきい値を作成します。このデータを管理することで、異常の排除速度を速め、ライン稼働率を維持できます。

現在、磁流体の測定点に基づく巡回検査メカニズムを構築し、液面振動の状況を管理できるようにします。磁流体の測定点がしきい値に設定された後は、自動的に監視されるポイントとして長期間使用されます。これにより、クリスタルの成長中に液面振動が管理され、振動が発生した場合には迅速に知り、パラメータを調整することで、クリスタルの利用可能な領域を最大化できます。

VMS®-PH デバイス動的分析装置

VMS®-PH

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