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OHT 軌道車の走行時に過度な振動が発生？

実績｜OHT 軌道車の走行時に過度な振動が発生？

OHT はウェーハ搬送の重要な役割を担っており、異常な振動や搬送の安定性の低下が品質に影響を及ぼす可能性があります。これらの問題を事前に検知するにはどうすればよいでしょうか？

OHT 天井搬送システム

OHT（Overhead Hoist Transport）は、半導体製造におけるウェーハ搬送を担当するシステムです。クリーンルームの自動化が進む中、厳格な管理が求められる環境では無人搬送システムが主流となっており、OHT はその代表的なシステムの一つです。

OHT は工場内の交通システムのような役割を果たし、決められたルートを予定通りに走行する必要があります。

OHT は「天井搬送システム」「吊り下げ式搬送装置」「空中搬送システム」など、さまざまな呼び方があります。その主な目的はウェーハの搬送であり、OHT 車両は設定されたルートを移動します。しかし、他の OHT 車両と交差する場面もあり、振動が大きくなったり、異常な挙動が発生したりすると、搬送中のウェーハが破損する可能性があるため、安定した搬送品質の確保が重要です。

監視システムの導入

IIoT（Industrial Internet of Things）
OHT は無人運転車両であるため、搬送時の品質を確保することで、多くの無駄な損失を防ぎ、半導体の生産効率と信頼性を向上させることができます。

OHT 車両には監視機器やセンサーを搭載し、中央監視ダッシュボードを介してリアルタイムで状態をモニタリングし、異常時には警報を発信することで、問題発生前に適切な対応（部品交換や保守作業）を行うことができます。これにより、OHT の搬送ルートを常に最適な状態に保つことが可能になります。