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PVDプロセスにおける装置の状態をどのように把握し測定するか？
実績｜PVDプロセスにおける装置の状態をどのように把握し測定するか？PVD（物理蒸着）は、工業製造におけるコーティング技術の一種です。良好なプロセス環境を整えることで、生産ラインの歩留まりを向上させることができます。それでは、PVDプロセスに必要な装置の状態をどのように把握し、測定すればよいのでしょうか？
物理蒸着（Physical Vapor Deposition）
PVD（物理蒸着、英語：Physical Vapor Deposition）は、工業製造におけるコーティング技術の一種であり、主に物理的な方法で材料を加熱または励起することで薄膜を形成する技術です。ここでいう物理的な方法とは、物質の相変化現象を指します。半導体プロセスでは表面処理工程の一つに分類され、通常は真空環境下で加工が行われます。例えば、蒸着源が固体から気体へと変化し、ウェハー表面に凝縮することで薄膜が形成されます。
PVDには、蒸着（Evaporative PVD）、スパッタリング（Sputtering PVD）、イオンプレーティング（Ion Plating, PAPVD）の3つの主要な方法があります。ディスプレイパネルやタッチパネルの製造工程でもPVDによるコーティング技術が使用されています。PVD薄膜の成膜には完全な真空環境が必要であるため、各装置において詳細な検査と監視が不可欠です。
ソリューションと監視の説明
VMS-PH ポータブル測定分析装置
良好なプロセス環境を整え、生産ラインの歩留まりを向上させるためには、PVDプロセスで使用する装置の状態をどのように把握し測定すればよいのでしょうか？
ここでは、PVDプロセスにおける磁気シール、減速機、真空チャンバー、モーターなどを測定し、それぞれの比較結果を分析することで、装置の状態を把握します。
測定データを視覚的に分かりやすいグラフや画像に変換し、プロセスに潜む問題点を特定することで、将来的なオンライン監視の基盤を構築します。さらに、設備の巡回監視や予知保全を実施することで、プロセス中の予期せぬ停止や異常の発生を未然に防ぐことができます。
測定状況
PVD 磁気シールの実測
磁気シールは、静止リングと回転リングの2つの部分で構成されており、磁力技術を利用し、メカニカルシールの原理を採用した全浮動シール面構造です。
PVD 磁気シール装置 A/B/C の正逆回転における動的解析比較
磁気シール装置 B/C は同じモーターにより駆動されており、磁気シール装置 C の正回転時に振動量が高いことが確認されました。
磁気シール装置 A は、正逆回転の両方で振動と摩耗の兆候が見られるため、継続的な観察が必要です。
通常、オイル漏れ異常の主な原因：
オイルシールの不良：製造品質が低く、欠陥やバネの緩みなどが発生。
保守処置：オイルシールの交換、またはバネの調整。
装置の不良：摩耗が進み、光沢が失われ、粉塵が蓄積している。
保守処置：オイルシールの交換、潤滑清掃の実施。
PVD 減速機の実測
減速機は装置の重要な駆動部品であり、ギアなどの機構を介して回転速度を低減し、トルクを増加させる役割を果たします。構成要素としては、歯車、軸受、主軸、ハウジング、およびその付属品が含まれます。
減速機装置 A/B/C の正逆回転における動的解析比較
無負荷状態
プロセス稼働状況
減速機装置 B は正逆回転の差が顕著であり、今後の変化に注意が必要です。
PVD 真空チャンバーの実測
真空チャンバー（英語：Vacuum Chamber）は、真空ポンプに接続することでチャンバー内を真空状態に維持し、物理実験や成膜処理を行うための装置です。
センサーをChamber4の下部コンポーネントに設置し、同じ測定点で A と B を比較
装置 A の測定された動的信号は、装置 B に比べて不規則なパターンを示しました。
→ 測定データに基づき、装置 A 内に機構的な異常振動が存在することが証明されました。
測定結果では、装置 B の PVD バルブ動作による振動が装置 A よりも大きいことが確認されました。
→ 装置 B は相対的に規則的な動作を示しましたが、そのゲート開閉時の振動は装置 A よりも大きく、長期的な健康状態の監視が推奨されます。
OIL PUMP の実測
測定結論
良好なプロセス環境を構築し、生産ラインの歩留まりを向上させるためには、装置の状態を正確に把握することが不可欠です。
各種装置の問題に対して、VMS-PH 携帯型測定分析装置を使用することで、迅速な検査が可能です。また、異常の特徴をデータとして収集し、将来的なオンライン監視の基盤として活用できます。
VMS-PH
生産ラインの歩留まりを向上させ、装置の状態を把握