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Turbo Pump における動的不均衡の発生？

実績｜Turbo Pump における動的不均衡の発生？

Turbo Pump の磁気浮上軸受において最も重要なのは動的バランスの問題です。回転速度の周波数が相対的に大きい場合、それは動的バランスが悪いことを意味します。どのように測定すればよいのでしょうか？

ターボポンプ（Turbo Pump）の作動原理

ターボポンプは、高速回転するブレードが気体分子に運動エネルギーを伝達し、方向性のある流れを生み出すことで吸引を行う装置です。動翼と静翼が交互に配置されており、ブレードの傾斜方向は互いに反対です。これらのブレードが 10 枚以上組み合わさって構成されています。ターボポンプは、外観によって 垂直型（Vertical type） と 水平型（Horizontal type）の 2 種類に分けられます。

垂直型は水平型よりもコンパクトなサイズですが、異物がポンプ内に侵入するとターボブレードが損傷しやすく、修理が難しくなります。また、安定性がやや低いため振動が発生しやすいという特徴があります。しかし、拡散ポンプや真空計の代替として使用できる点や、水平型よりも価格が安く、真空システムとの接続において柔軟性が高い点がメリットです。さらに、磁気浮上軸受を採用したターボポンプは、オイルによる汚染の影響を受けにくいという利点もあります。

解決策と監測方法

IMS-TP ターボポンプ巡回検査分析装置
磁気浮上軸受を採用した Turbo Pump は振動量が比較的小さいため、周波数スペクトル分析 を用いた比較が必要です。また、磁気浮上軸受の最も重要な問題は 動的バランス（ダイナミックバランス） です。例えば、回転速度の周波数が相対的に大きい場合、それは 動的バランスが悪いこと を示しています。
私たちは 携帯型の巡回検査分析装置 を用いることで、ポンプの品質を確保し、予知保全を実施することで 突発的な停止を未然に防ぐことができます。