ワイヤー切断機がインゴットを切断する際のスムーズさを損なわないためには？

実績｜ワイヤー切断機がインゴットを切断する際のスムーズさを損なわないためには？

切断工程において、反りを最小限に抑え、厚みを均一にし、刃幅の損失を抑えるために、どのように機械の状態を管理し、切断効率を維持し、機械の異常による損失を回避できるか？

ウェーハ加工

ウェーハ切断は半導体加工プロセスにおいて重要な工程の一つであり、ウェーハの損傷や品質に大きな影響を与えます。ウェーハの切断には、外周切断、内周切断、ワイヤー切断機などの方法が一般的です。どのタイプの切断機であっても、カッターの性能が鍵となります。例えば、ウェーハの外周切断では、ブレードが結晶の圧力に耐えられない場合、変形や横揺れが発生し、ウェーハの表面が不均一になり、損失が生じることがあります。

解決策と監視方法

ウェーハ切断

機械の問題を早期検知するには？
ワイヤー切断工具機には、三軸ワイヤー切断機と四軸ワイヤー切断機の2種類があります。ウェーハの切断品質、精度、切断効率、歩留まりは、切断ブレードやワイヤーの性能、取り付け方法、張力調整方法と密接に関係しています。ワイヤー切断プロセスは自由研磨加工の一種であり、ワイヤーにはダイヤモンド微粒子がコーティングされ、ワイヤーが軸上でウェーハの厚さに合わせて溝を作りながら加工されます。ワイヤーは入力軸から出力軸に向けて高速回転し、インゴットが軸方向に送り込まれ、切断液の補助によってウェーハの切断が完了します。

測定結果

切断プロセスにおいて、高速回転による摩耗や、ブレードやワイヤーの損傷が発生すると、シリコンウェーハの歩留まりが低下する可能性があります。そのため、機械の状態を監視し、問題を早期に検知することが重要です。また、製品に異常が発生した場合、測定データを遡ることで異常の原因を特定することが可能です。