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ウェハ切断工程の安定性を確保するには？

実績｜ウェハ切断工程の安定性を確保するには？

より高いウェハ歩留まりを得るためには、周囲環境の制御可能な要因を管理することに加えて、工程機器が安定して実行できる能力を持つことが重要です。ウェハ切断機はチップの品質に深く影響するため、切断工程の安定性を確保するにはどうすればよいのでしょうか？

ウェハ切断機

より高いウェハ歩留まりを得るためには、周囲環境の制御可能な要因を管理することに加えて、工程機器が安定して実行できる能力を持つことが重要です。ウェハ切断機はチップの品質に深く影響するため、切断工程の安定性を確保するにはどうすればよいのでしょうか？

ウェハ切断機の作動原理
切断機の主な部品は、主軸、工具、ウェハ盤（支持台）などで、作動プロセスは異なる材質の軟硬の工具を使用します。例えば：金属、セラミック、樹脂、電鋳などを使用し、高速回転する主軸モーターと精密な位置決めシステムと組み合わせて、切断作業を行います。

軟刀と硬刀の違い
軟刀は結合剤によって電鋳結合剤を使用した切断刀、樹脂基切断刀、金属切断刀、セラミック切断刀などに分かれ、コストは比較的低いですが、精度が求められます。刀は三種類の直径で使用可能で、外円が摩耗した後でも小刀盤に交換して使用し続けることができます。正式に切断を行う前に、鋭利さの切断要件を満たすために研磨する必要があります。

硬刀は一般的に電鋳成型されており（アルミ合金の刀架と一体になった砥石の形態）、使い捨てであり、コストは高めです。

解決方法と監視の説明

IMS-DS ウェハ切断機品質管理分析装置
切断機の主軸の作業回転数や異なる工具などを測定し、その測定結果を基に工具と主軸間の作業状況を確認します。これにより、設備の健康状態を確認し、部品に問題が発生する前に事前に保守・修理を行うことができます。