解決策
測定機器
監視装置
IoT
切断機の各部品を診断し、トラブルシューティング
なぜ必要か？
切断工程の品質に影響を与える主要な要因は？
切断工具品質
刃先の鈍化、変形、振動、過剰な切断力は切断精度に影響を与え、切断工具の品質はシステムサプライヤーの出荷管理と品質管理プロセスに依存しています。
切断工程パラメータ
工程パラメータは、給餌速度、水流量、流速、切断刃の回転速度といった要素が、半導体メーカーの装置と工程技術の経験に基づいています。
切断機台品質
切断機台品質は、同じメーカーの機器を使用している場合、いかにして自社の設備で安定的な製品の品質を維持し、標準化を図るかに関わります。
技術の進歩と市場の需要に伴い、電子製品の性能はより強力で、サイズはより軽く、薄く、短く、小型化されていきます。相対的に、ICのサイズも微細化が進んでいます。そのため、晶円切断工程では同じサイズの晶円の中で、粒子の数が増え、切断線が狭くなり、1枚の晶円の価値が高くなっています。晶円の製造過程では、品質に影響を与えるすべての工程管理が非常に重要です。切断晶円工程で収率を高め、製程水準を向上させ、廃棄コストを削減するために、品質管理は重要な課題となります。
固德科技が提供するIMS-DS 晶円切断機品質管理分析計は、切断機の状態を把握し、切断機の各部品を診断し、トラブルシューティングを行うことで、晶円切断機の品質を効果的かつ正確に管理することができます。
監視項目
切断機の主要機構構成は？
切断機の主要機構構成は：
切断回転主軸、垂直移動軸（Z軸）、二次元面横方向移動軸（Y軸）、二次元面縦方向移動軸（X軸）、晶円切断刃。切断工程中、運動制御、位置決め制御、または機械の劣化による故障が1つでも発生すると、切断品質に直接影響を与えます。
各項目はさらに詳細に分類できます：
切断機回転主軸：
気浮主軸、主軸動平衡等級、切削工具、工具取り付け座、保護カバー。
垂直移動軸（Z軸）：
サーボモーター、ドライバ、ベアリング（軸受）、ネジ、スライドレール。
二次元面横方向移動軸（Y軸）：
サーボモーター、ドライバ、ベアリング（軸受）、ネジ、スライドレール。
二次元面縦方向移動軸（X軸）：
サーボモーター、ドライバ、ベアリング（軸受）、ネジ、スライドレール。
良品率の向上
廃棄削減
ユーザーがウェハカットマシンの状態を理解し、ウェハの生産量を増加させ、プロセスのレベルを向上させ、廃棄コストを削減するのをサポートします。各部品の健診とデバッグを行い、ウェハカットマシンの品質を効果的かつ精密に管理します。
機能説明
UI 機能画面
ウェハカットマシンの品質管理
IMS-DS ウェハカットマシン品質管理分析機は、ウェハカットマシンを効果的に管理でき、あらゆるブランドやモデルのウェハカットマシンに対応しています。
各測定項目に対して振動値基準や動平衡等級基準を簡単に設定でき、ユーザーは自分でしきい値を設定することができ、ウェハカットマシンの品質管理が効率よく行えます。
視覚的で直感的なユーザーインターフェース
IMS-DS ウェハカットマシン品質管理分析機は、直感的で視覚的なインターフェースを提供し、複雑な測定操作の手順を省きます。直感的な方法で操作が可能で、使いやすさが向上しています。
内蔵の測定ポイント写真設定機能により、測定位置を簡単に覚えることができます。分析機能では、レーダーチャートで結果を表示し、ユーザーがどの部品を緊急にメンテナンスするべきかを明確に確認できます。
内蔵切断機台の推奨事項と規範
IMS-DS ウェーハ切断機 品質管理分析装置は、内蔵の切断機台の詳細部品検査に関する推奨事項と規範を提供します。工場内での検査基準を自由に設定・確立できます。部品が破損した場合、画面に警告が表示されます。
赤色は異常値を示し、部品が異常摩耗している可能性があります。緑色は正常値を示し、部品の品質が良好で引き続き使用可能です。迅速かつ正確な修理の参考情報を提供し、分析および判定結果を示します。
携帯型タッチスクリーン 軽量で便利
IMS-DS ウェーハ切断機 品質管理分析装置はコンパクトで軽量な設計により、持ち運びが容易で、いつでも切断機の状態を把握できます。また、当社のサービス測定と組み合わせることで、専門のエンジニアが現場で直接操作を行い、専門知識の共有やトレーニングを提供し、現場での測定確認サービスを実施します。
効果
即時にフィードバックを得る
IMS-DS ウェハ切断機品質管理分析装置ウェハ切断機プロセスの目的は、ウェハ上の各ダイ（DIE）を切断して分離することです。その主軸の回転速度は30,000〜60,000rpmの範囲にあり、ダイ間の切断道幅が非常に小さく、ダイ自体は非常に脆いため、精度の要求が非常に高いです。切断プロセスの品質は、最終的なダイの品質に大きな影響を与えます。例えば、切断機の軸方向の振動は切断道幅を広げ、ダイの損傷や廃棄を引き起こす可能性があります。また、切断時にダイ間の切断線に沿って偏差があると、ダイが崩れるか亀裂が生じ、ICパッケージングプロセスでの電気的機能不良や損失率の増加を引き起こす可能性があります。
IMS-DS ウェハ切断機品質管理分析装置は、必要な測定に正確に対応するすべての機能オプションを備えており、データ分析データベースを通じて閾値を設定し、研究開発者に生産性向上のためのデータを提供します。パターン化、直感的、視覚化されたユーザーインターフェースにより、従来の複雑な操作方法を省き、ユーザーは迅速に操作を学びやすくなります。測定ポイントの写真設定機能により、ユーザーは測定位置を記憶しやすく、測定報告書の自動生成により、報告書作成時間が節約されます。画面の損傷箇所を警告し、ユーザーに正確な修理指示を提供し、予知保守の根拠などの機能を提供します。不要な過度な保守を効果的に避け、メンテナンスコストを削減します。これにより、ユーザーはウェハの収量を向上させ、精度を高め、廃棄コストの無駄を減らすことができます。
簡単に始められる
設備管理
正確な修理
効果の向上
廃棄の削減
コスト削減
仕様
完璧な機械・電気・ソフトウェアの統合
USBインターフェースを搭載し、測定データのアクセスが容易。フルタッチ式入力と10インチの大型フルカラーディスプレイにより、測定データと計算結果をリアルタイムで表示。コンパクトで持ち運びが簡単な設計により、現場での測定が可能。カメラ撮影機能の拡張が可能で、測定環境の記録も簡単に保存。国際保護等級IP65認証を取得し、防水・防塵性能を備えています。
Support
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