監視実績

実績

適用分野

応用分野

よくある質問

質問集

Support

半導体およびパッケージング分野

実績|半導体およびパッケージング分野

半導体およびパッケージング分野において、設備の精度と安定性は極めて重要です。
設備を監視することで製造精度を向上させ、安定した運転を確保し、最終的には製品の品質向上と生産効率の向上につながります。

環境の微振動が Laser Grooving 装置に与える影響は?

高精度製造装置における環境の微振動の影響は無視できません。
小さな振動でもレーザーフォーカスのズレを引き起こし、溝加工の精度に影響を及ぼす可能性があります。
どのようにして品質を確保すべきでしょうか?

Laser Grooving と環境微振動異常

上片機 Bond Head アームの動作状態は?

Flip Chip 製造工程における上片機 Bond Head アームの動作状態は?
Bond Head はチップとコネクタを接続し、電気的接続とパッケージングを実現します。
上片機 Bond Head アームの動作が安定しているかどうか、どのように確認すべきでしょうか?

上片機 Bond Head アーム

ウェーハ研削スピンドルの測定方法は?

研削スピンドルはウェーハの品質に影響を与える?
研削プロセスでは、スピンドルのカバーによって測定データにノイズが発生しやすいですが、
どのように測定を実施すればよいのでしょうか?

ウェーハ研削スピンドルの測定?

フォトレジスト塗布機のロボットアームの安定性を確保するには?

フォトレジスト塗布機でウェーハを搬送するロボットアームは、高精度かつ安定した動作が求められます。
機械の振動がウェーハ表面に影響を及ぼさないように、どのように安定性を確保すべきでしょうか?

フォトレジスト塗布機のロボットアームの安定性

ウェーハ研削の平坦度が不均一?

研削プロセスにおいて、装置の異常によってウェーハの平坦度が悪化することがあります。
表面の粗さ、面取りの異常、エッジポリッシュの不具合を防ぐにはどうすればよいでしょうか?

ウェーハ研削の平坦度が不均一

スクラバーの洗浄プロセス位置をどのように確保する?

ウェーハの洗浄プロセスはシンプルですが、スクラバーの洗浄動作はウェーハの品質に直接影響を与えます。
どのように動作の安定性を確保すればよいでしょうか?
ウェーハ洗浄では、スクラバー装置を使用して溶液で表面の微粒子(パーティクル)を除去します。

スクラバー洗浄プロセス動作

Die Bonder 製造プロセスの安定性をどのように確保する?

Die Bonder 固着装置のロボットアームに異常発生?
半導体パッケージングプロセスでは、ダイボンディングは非常に重要な工程の一つです。
技術の高度化・複雑化が進む中で、どのようにプロセスの安定性と歩留まりを確保するべきでしょうか?

Die Bonder 製造プロセスの安定性

露光装置 Mask Aligner の測定はどのように行う?

半導体製造プロセスでは、光波を利用してウェーハ上に回路を形成します。
しかし、製造工程で微細な振動が発生すると、不良品が生じる可能性があります。
どのように測定し、異常を防止するべきでしょうか?
Mask Aligner は、MEMS、光学デバイス、ダイオード、LSIの製造に不可欠な装置です。

露光装置 Mask Aligner の測定

PCBカットの不良による製品損傷を防ぐ方法は?

PCB(プリント基板)切断機は、電子製造プロセスにおいてPCBを切断するための装置です。
PCBは現代の電子製品の重要なコンポーネントであり、電子部品や配線が配置されており、電子機器の機能を支える役割を持っています。

PCBカットの不良による製品損傷を防ぐ

排気ファンモーターの異常回転が製造プロセスに与える影響は?

排気ファンのモーターが突然故障すると、ファンが正常に動作できず、製造プロセスや環境に重大な影響を及ぼします。
いくつかの製造プロセスでは、特定のガスや化学薬品を迅速に排出する必要があり、安定したプロセス条件を維持するためにはモーターの正常動作が不可欠です。

排気ファンモーターの異常回転

実験室の環境微振動が装置の精度に影響する?

VC-Curveの規格を利用して精密機器の設置を計画し、環境微振動による装置性能の低下や精度の低下によるコストの浪費を防ぎます。

実験室の環境微振動

微粒子濃度が高すぎるとウェハ品質に影響を与える?

半導体製造プロセスにおいて、微粒子とは非常に小さな固体または液体の粒子であり、直径は通常ミクロンまたはナノメートルの範囲です。
これらの微粒子は製造プロセスの安定性に悪影響を及ぼす可能性があります。

微粒子濃度が高すぎる

結晶成長炉の溶融液面の異常振動?

FAB工程のウェハーは半導体製造において最も重要な材料です。
結晶成長炉の診断方法は?異常振動を防ぎ、結晶種の形成不良を予防するには?

結晶成長炉の溶融液面の異常振動

OHT 天井クレーンシステムの異常振動?

FAB工程のウェハーは半導体製造において最も重要な材料です。
OHT天井クレーンの診断方法は?異常振動を防ぎ、安定した搬送を実現するには?

OHT 天井クレーンシステムの異常振動

Vacuum Dry Pump の異常原因を素早く特定する方法?

半導体製造プロセスでは、多くの装置が真空ポンプを利用しています。
特にDry Pump(ドライポンプ)は製造プロセスにおいて重要な役割を担っており、
突然の停止を防ぐためにはどうすればよいのでしょうか?

Vacuum Dry Pump の異常原因

Coating プロセスにおける塗布・成膜のムラ?

半導体製造プロセスにおけるコーティング・成膜工程では、
異常な振動が発生すると、塗布の均一性に影響を与える可能性があります。
どのように測定装置を活用して、プロセスの安定性を確認できるのでしょうか?

Coating プロセスにおける塗布・成膜のムラ

PVD・CVD装置アームの動作が安定しているか確認する方法

薄膜成膜の目的はウェーハの導電性を向上させることです。
PVD・CVD装置アームの異常が製造プロセスに影響を与えないようにするにはどうすればよいでしょうか?
どのようにして動作の安定性を確保できますか?

PVD・CVD装置アームの動作

パッケージングステーションの振動異常により製品が不良になる?

パッケージングステーションの振動異常は製品不良の原因となります。
ウェーハパッケージングプロセスは非常に複雑で高精度です。
ステーションで予期しない振動が発生した場合、生産損失を回避するために即座に作業を停止するにはどうすればよいでしょうか?

パッケージングステーションの振動異常

シリンダー異常による推力不足?

シリンダーに異常が発生すると、エアフローの逆流が起こり、適切に圧力を調整できず推力が不足する可能性があります。
どのようにして異常を早期発見し、製造プロセスへの影響を防ぐことができるでしょうか?

シリンダー異常による推力不足

PVDプロセスの設備状態をどのように把握し、測定するか?

安定した製造環境を整えることで、生産歩留まりの向上が可能となります。
PVDプロセスにおける設備の状態を、どのように監視し、測定できるのでしょうか?

PVDプロセスの設備状態

ウェーハ搬送中のスクラッチを防ぐには?

ウェーハ搬送ロボット(Wafer Robot)を使用する際、
運搬中に異常な振動が発生すると、ウェーハがスクラッチや衝突を起こす可能性があります。
どのようにして事前に防ぎ、ウェーハの損傷や廃棄を回避できるでしょうか?

ウェーハ搬送中のスクラッチ

Die Bonder のリードスクリュー異常が品質不良を引き起こす?

Die Bonder のリードスクリュー異常は、製品品質の低下につながる可能性があります。
リードスクリューの品質が不十分だと、チップが正確な位置に配置されず、
基板への接合不良やチップ位置のズレが発生する可能性があります。

Die Bonder のリードスクリュー異常

リフロー炉の送風モーターの振動品質は温度に影響するのか?

リフローは、はんだを徐々に溶かしながら接合部をゆっくり加熱し、
急激な加熱による電子部品の損傷を防ぐ工程です。
したがって、送風モーターの品質は温度制御に大きく影響します。

リフロー炉の送風モーター

ウェーハダイシング装置の動作品質をどのように監視するか?

ウェーハダイシング装置は半導体製造において重要な設備であり、
その性能は製造プロセス全体および最終製品の品質に大きく影響します。
どのようにしてダイシング装置の動作の安定性を確保できるのでしょうか?

ウェーハダイシング装置の動作

斜めに傾いたブレードが原因でウェーハ切断不良?

切断面が不均一、ギザギザ、または欠陥があると、ダイの品質だけでなく、
その後の製造工程やチップの性能にも影響を与えます。

斜めブレードによるウェーハ切断不良

ワイヤー切断機の振動信号が過大?

切断プロセスでは、曲がりの少ない、厚さの均一な、刃の損失の少ない切断が求められます。
どのようにして機械の状態を監視し、切断効率を維持し、設備の状態による損失を防ぐことができるでしょうか?

ワイヤー切断機の切断精度が低下

ダイシングソーの安定性を確保するには?

ウェーハ製造プロセスには、チップの品質と精度に影響を与える複数の精密工程があります。
ダイシングソーの安定性をどのように確保できますか?

ダイシングソーの品質

ストッカー(STK)システムの性能を測定するには?

ストッカーは、重要な材料輸送作業を代替します。
その性能を測定し、安定した輸送を確保するにはどうすればよいですか? ストッカーは、工場の用途に応じて異なる種類や運用方式があります。

ストッカーシステム