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ウェハ切断機の機構動作品質をどのように監視するか？

実績｜ウェハ切断機の機構動作品質をどのように監視するか？

ウェハ切断機は半導体製造プロセスにおける重要な設備であり、その品質は製造プロセス全体および最終製品の性能に大きな影響を与えます。切断機の機構動作品質の安定性をどのように確保するか？

ウェハ切断機

ウェハ切断機の安定性とプロセスの関係 ウェハ切断機の安定性はプロセスの安定性に直接影響します。高品質の切断機は切断精度と一貫性を確保し、より高い切断精度を実現する必要があります。これにより、部品のサイズや形状が仕様に適合することを保証します。高性能のウェハ切断機はプロセスの速度を向上させ、生産効率を高めることができます。これは大量生産や厳しい生産スケジュールにとって非常に重要です。そのため、切断機の効率が低い場合、プロセス全体のボトルネックとなり、全体の生産能力に影響を与える可能性があります。私たちは切断機の機構動作を監視することで切断機の品質を確保し、ウェハプロセスが一貫した基準を達成できるようにし、プロセスの変動を減らし、安定性を向上させます。

監視の説明

VMS-ML 机器学习智能监控系统
主軸のスタート加速やウェハ切断などの機構動作で同期して発生する振動信号を取得し、良好な状態での規範学習および動作判別を行い、規範との比較結果を通じて繰り返し動作を検出し、機械の動作品質を検査する目的を達成します。