フォトレジスト塗布装置のアーム動作をどのように監視し、設備の安定性を確保するか？

実績｜フォトレジスト塗布装置のアーム動作をどのように監視し、設備の安定性を確保するか？

フォトレジスト塗布装置専用のウェハー搬送ロボットアームは、高精度かつ安定した動作が求められ、機械振動によるウェハー表面への影響を最小限に抑える必要があります。どのようにアームの安定性を確保するのでしょうか？

フォトレジスト塗布装置のアーム

フォトレジスト塗布装置専用のウェハー搬送ロボットアーム
フォトレジスト塗布プロセスにおいて、ウェハーの品質に影響を及ぼす要因は多数あります。例えば、アームの精度、安定性、動作速度、機械振動などが密接に関係しています。

ロボットアームは、高精度かつ安定した動作を維持する必要があり、フォトレジストがウェハー表面全体に均一に塗布されるようにしなければなりません。アームの不安定さや精度不足は、フォトレジストの厚みのムラを引き起こし、その後のプロセスの品質に影響を与える可能性があります。

また、アームの振動がウェハーに伝わると、フォトレジストの均一性が損なわれる可能性があります。したがって、ウェハー表面への振動の影響を最小限に抑えることが重要です。

監視方法

VMS-ML 機械学習インテリジェント監視システム
VMS-ML 機械学習インテリジェント監視システムを活用し、アームによるウェハーのピックアップ、移動プロセスのX軸、Y軸、Z軸、θ軸の動作に伴う振動を分析します。

良好な状態での動作パターンを学習し、繰り返しの動作信号を識別して基準と照合します。Z軸、Y軸、θ軸、X軸の動作が安定しているかを詳細に評価し、異常な動作が検出された場合には事前に対策を講じることで、ロボットアームの品質検査と予知保全を実現します。