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Scrubberの洗浄プロセスの動作位置をどのように確保するか？

実績｜Scrubberの洗浄プロセスの動作位置をどのように確保するか？

ウェハー洗浄では、Scrubber装置を用いて溶液でウェハー表面を洗浄し、微粒子（Particle）を除去します。洗浄プロセス自体はシンプルですが、Scrubberの洗浄動作はウェハーの品質に直接影響を与えます。どのようにして動作の安定性を確保すればよいのでしょうか？

ウェハー洗浄

ウェハー洗浄では、Scrubber装置を使用して溶液でウェハー表面を洗浄し、微粒子（Particle）を効果的に除去します。同時に、ウェハーの表面に欠陥や傷がつかないようにする必要があります。この際、洗浄に用いるスプレーノズル（Spray Nozzle）の噴射角度や流量は、衝撃力や圧力位置に影響を与え、ひいてはウェハーの品質に直接関わる重要な要素となります。

スプレーノズル（Spray Nozzle）の原理
スプレーノズルは、窒素ガスの内部圧力を利用して液体を高速で流し、衝突によって霧状の水滴を生成する噴射ノズルです。この霧状の水滴をウェハーに噴霧することで、表面の微粒子を効果的に除去することができます。我々は、スプレーノズルが指定された位置に正確に移動しているかを確認するだけでなく、この動作と関連する装置の稼働状況をデータとして蓄積し、トレンド管理を行います。

監視システムの説明

VMS-ML 機械学習スマートモニタリングシステム
センサーを用いて動的信号を可視化し、プロセスに潜む異常を発見することで、将来的なオンライン監視の基盤とします。さらに、サーボモーターが関連装置を駆動する際に、機械学習を活用したスマートモニタリングシステムを導入することで、サーボモーターの動作が一貫しているか、またスプレーノズル（Spray Nozzle）が適切な位置に移動しているかを確実に管理できます。