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実験室の環境微振動が機器の精度に与える影響は？

実績｜実験室の環境微振動が機器の精度に与える影響は？

VC-Curveレベル規格を使用して精密機器を配置し、環境微振動による機器の性能低下や精度の低下を避け、コストの浪費を減らす方法を学びます。

環境微振動

環境微振動とは、自然環境や建物内で発生する非常に小さな振動を指します。工場内部の床の強度、機器自体の運転、他の設備の影響、工場内の騒音、作業者や運搬車両の動きによる振動などが振動源になります。特に振動に敏感な分野では次のような影響があります：

電子製造業： 環境微振動は電子部品のハンダ付け不良を引き起こし、電子製品の品質や信頼性に影響を与える可能性があります。また、微振動の異常がある環境での電子部品のテストが困難になることもあります。振動はテスト機器の正確な動作を妨げる可能性があるためです。

研究開発室： 高精度な実験が要求される環境では、微振動が実験結果の不確実性を引き起こし、研究の精度に影響を与える可能性があります。また、科学機器の精度低下も引き起こし、実験の信頼性に影響を与えることがあります。

半導体分野： 半導体製造において、微振動はフォトリソグラフィ装置の安定性に影響を与える可能性があります。フォトリソグラフィは半導体チップにパターンを転送する高精度なプロセスであり、微振動は機械の振動を引き起こし、パターンの位置決めが不正確になる可能性があります。さらに、微振動は化学蒸着（CVD）プロセスの安定性にも影響を与える可能性があります。CVDは、薄膜をウェハ表面に堆積するプロセスで、微振動はガスの分布に不均一を引き起こし、膜の均一性に影響を与え、ウェハの品質と性能を損なう可能性があります。

そのため、環境が適切であるかを事前に検出し、環境振動による機器の性能低下や精度の低下を避けることが重要です。

環境微振動の影響を避けるために、以下の対策を考慮することができます：

振動隔離技術： 空気浮上台やスプリングアイソレーターなどの振動隔離装置を使用して、外部からの振動が機器や実験に伝わるのを減少させます。これらの技術は、地面からの振動を効果的に隔離し、機器の安定性を向上させます。

機械設備の設置： 機械設備を適切に設置し、固定して、運転中の振動を減らします。機械振動やその他の振動源から離れた位置に設置することで、外部振動の干渉を減らすことができます。

環境振動監視： 環境監視システムを実装し、定期的に環境微振動レベルを監視および記録します。これにより、振動源を特定し、適切な制御措置を講じることができます。

機器の定期的なメンテナンス： 定期的に機器の状態を確認し、振動隔離装置やその他の防震設備をメンテナンスすることで、機械運転による異常振動を避け、正常に運転させることができます。

監視説明

VMS-EM 環境微振動検出分析装置
VMS-EM 環境微振動検出分析装置とセンサー、方向転送モジュールを使用して、精密機器の環境を測定し、環境微振動の品質が基準に適合するか確認し、最適な環境を選定して機器を配置します。