解決策
測定機器
監視装置
IoT
環境振動による設備性能低下を防止
環境微振動
微振動の主な発生源とは？
微振動とは？一般的に、周波数2〜100 Hz、振幅50 μm/s以下の振動を指します。 工場内では、床の強度、設備自体の運転、他の設備の影響、工場内の騒音、 さらには作業員や搬送車両の移動による振動など、さまざまな要因が振動源となります。 一方、工場外からの影響としては、交通機関、工場周辺の大型車両の通行、 近隣工場の建設工事、建築工事の杭打ち、風、地震など、 建物に作用する外力が微振動を引き起こす要因となります。
設備自体の運転
免震プラットフォーム部品
作業による影響
搬送車両の移動
工場外の振動影響
自然気象要因
なぜ必要なのか？
なぜ工場は環境微振動に特別な注意を払う必要があるのか？
設備は環境の振動によって影響を受け、その影響の程度は設備の精度によって異なります。
一般的に、より高精度な設備ほど、求められる環境条件も厳しくなります。
例えば、原子間力顕微鏡（AFM）、電子顕微鏡、高倍率顕微鏡、
半導体の露光装置、光学部品モジュールの鏡面加工などの設備は、
外部の振動によって機能や測定結果が大きく影響を受ける可能性があります。
工場環境の振動レベルが設備の要求する振動仕様を満たしていない場合、
製造装置の歩留まりが低下するだけでなく、測定装置がより高い倍率で
細かいライン幅を検出できなくなるため、先端プロセスの発展に影響を及ぼします。
そのため、環境微振動は生産歩留まりに直接影響を与える要因の一つと考えられています。
特徴説明
工場環境の微振動測定に特化
半導体などのハイテク産業では、高精度な設備や機器を使用するため、
環境振動に対する要求が非常に厳しくなります。
使用者は環境の微細な振動を感じ取ることができなくても、
それが生産ラインの機械や製品品質に影響を及ぼすことがあります。
設置時に環境が適しているかを確認できれば、
設置時間を短縮し、後の振動対策の問題解決にも役立ちます。
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置は工場環境の微振動測定向けに設計されており、
使用者が最適な設置環境を見つけるのに大いに役立ちます。
特徴説明
長時間測定と VC 曲線対照表
環境中には微振動を引き起こす多くの要因があり、
その中には一時的に発生するものもあります。
そのため、長時間の測定を行うことで、振動の原因を特定する必要があります。
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置の長時間測定機能では、
最大3時間の環境微振動測定が可能です。
10秒ごとに振動速度スペクトルを平均化し、VC曲線と比較します。
また、ソフトウェアには VC 曲線のレベル説明対照表が付属しており、
使用者が現在の環境振動レベルを簡単に理解できるようになっています。
特徴説明
低周波帯域の動的スペクトルピークトラッキング
工場内では多数の設備や機械が同時に稼働しており、
それによって発生する低周波振動は測定時にフィルタリングしにくい傾向があります。
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置の低周波動的分析機能は、
5秒ごとに振動値を平均化し、スペクトルのピーク変動を描画します。
これにより、使用者は比較が容易になり、
背景環境が複雑であっても効果的に振動状態を測定できます。
特徴説明
携帯型測定装置で随時測定・保存
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置は携帯型の測定装置であり、
使用者が持ち運びやすく、いつでも測定が可能です。
複雑な測定操作やデータ変換を簡略化し、
必要に応じてプロジェクトフォルダを作成することでデータ整理がより便利になります。
また、工場の新規精密設備設置前に環境を事前測定し、
測定結果をもとに設備の配置計画を立てることが可能です。
これにより、不必要な移動による設備の損傷を防ぐことができます。
精密設備
環境検査
ハイテク工場環境の微振動検出や精密設備の設置前検査に対応し、 使用者が事前に環境の適性を確認できるようにします。 環境振動による設備性能低下を防ぎ、コストの無駄を削減します。
機能説明
UI 機能画面
長時間環境微振動
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置の長時間環境微振動機能では、 測定時間を 30 分 / 1 時間 / 2 時間 / 3 時間から選択でき、 10 秒ごとに振動速度スペクトルを平均化し、VC 曲線と比較します。 ソフトウェアには VC 曲線レベルの説明が含まれており、 使用者は現在の環境振動レベルをより明確に把握することができます。
低周波動的分析とスペクトルピークトラッキング
工場内では多数の設備や機械が同時に稼働しており、 それによって発生する低周波振動は測定時にフィルタリングしにくい傾向があります。 VMS®-EM 環境微振動検出分析装置の低周波動的分析機能では、 5 秒ごとに振動値を平均化し、スペクトルのピーク変動を描画します。 これにより、使用者は比較が容易になり、 背景環境が複雑であっても効果的に振動状態を測定できます。
加速度計ゲイン
VMS®-EM 環境微振動検出分析装置のソフトウェアには加速度計ゲインが内蔵されており、 使用者が加速度計を簡単に校正できるようになっています。 操作はシンプルで、接続する加速度計の入力チャネルを選択し、 感度値を入力するだけで、リアルタイムのスペクトル計算が可能です。 これにより、校正器と比較しながら正確な調整が行えます。
応用
適用分野と範囲
01. ハイテク工場の建設地における微振動測定と分析
02. ハイテク工場建設期間の各段階における床の微振動測定と分析
03. 精密設備および防振基台の微振動測定と分析
04. 床の微振動問題の診断と測定
05. 精密設備の微振動問題の診断と測定
06. 長期的な微振動測定と監視
07. 構造物の動的特性試験と剛性測定
08. 構造物の振動モード測定と分析
09. 杭基礎、トラック、新幹線、列車の振動試験
10. 歩行振動試験
11. 床の振動伝達試験
12. ストッカー、AGV、ロボット運転時の振動試験
13. ポンプ、モーター運転時の振動試験
14. 配管の振動試験
15. プレス機振動、建設振動試験
16. 地震振動、建設振動監視、設備振動監視
