環境微振動とは？

設備が稼働すると振動が発生します。これは工場内の各種設備、作業員、搬送車両の移動によって発生する振動を指します。さらに、工場外を通過する大型車両、建設工事による杭打ち作業、風力、地震など、建物に力を加える要因はすべて建物に微振動を引き起こす可能性があります。

環境微振動とは？
どのような振動が環境微振動に分類されるのか？

設備の性能低下？環境微振動の影響？
設備の性能低下による製品不良を防ぐために、環境振動に関する建築構造の振動基準が策定されています。これは単に建物が傾いたり倒壊したりしないことを求めるだけでなく、設備の稼働に影響を及ぼすような微細な振動も抑制することを目的としています。工場内では、床の強度、設備の運転、他の設備の影響、工場内の騒音などが振動源となります。工場外では、交通機関、近隣工場の工事、地震などが微振動の原因となります。

振動の発生源
工場内で発生する振動の主な種類とは？

内部振動源：設備が稼働すると振動が発生します。したがって、工場内の各種設備、作業員、搬送車両の移動によって発生する振動がこれに該当します。

外部振動源：工場外を通過する大型車両、建設工事の杭打ち作業、風力、地震など、建物に外力を加える要因はすべて建物に微振動を引き起こします。

先進的な製造プロセスの発展と向上は、現在の世界の主要な半導体メーカーにとって最も重要な課題です。プロセスの継続的な進歩には、多くの研究者の努力だけでなく、対応する製造設備や測定機器への投資と技術向上も大きな鍵となります。これらの高精度機器は、最適な環境が整って初めて最大限の性能を発揮できます。精密製造設備や測定機器の振動要因は、ハイテク産業が先進的な製造プロセスを導入する上で主要な課題となっており、新工場を計画する際には振動の影響を慎重に考慮する必要があります。

環境微振動
なぜ工場は環境微振動に特に注意を払う必要があるのか？

設備は環境振動の影響を受け、その結果に影響を与える可能性があります。外部環境の振動に対する要求は、設備の精度によって異なります。一般的に、高精度を要求される設備ほど、振動に対する要求も厳しくなります。例えば、原子間力顕微鏡、電子顕微鏡、高倍率顕微鏡、半導体露光機、光学部品の鏡面加工装置などは、外部の振動が機能や製品の品質に大きな影響を及ぼす可能性があります。

工場の環境振動の条件が設備自体の振動仕様（Specification）を満たしていない場合、製造設備の歩留まりが低下するだけでなく、測定機器がより高い倍率で微細な線幅を測定することができなくなり、高度なプロセス開発全体に影響を及ぼす可能性があります。そのため、高精度の防振設備、すなわちアクティブ型およびパッシブ型の防振システムの導入が、ウェハー製造の歩留まりに直接影響を与える重要な要素と考えられています。

どのような振動が環境微振動に分類されるのか？
微振動とは、一般に周波数が2～100Hz、振幅が50μm/s以下の振動を指します。工場内では、床の強度、設備の運転、他の設備の影響、工場内の騒音などが振動の発生源（Source）となります。一方、工場外では、交通機関、近隣工場の工事、地震などが微振動の発生源となります。

工場の環境微振動にはどのような振動基準が適用されるのか？
設備の機能低下による製品不良を防ぐために、環境振動に関する建築構造の振動基準が策定されています。これは単に建物が傾いたり倒壊したりしないことを求めるだけでなく、設備の稼働に影響を及ぼすような微細な振動も規制するものです。このような基準は、国際標準化機構（ISO）が制定した機械振動に関するISO-10816規格の一部として存在しています。また、海外の研究者は異なる設備の要求に応じた振動基準「Vibration Criteria（VC）」を提案しており、その定義は以下の図のように示されています。

振動サービス測定

実験室や工場において、振動の発生は機器に直接的または間接的な影響を及ぼすことがあります。軽微な場合は実験データに影響を与え、深刻な場合は設備や機器の損傷を引き起こし、大きな損失を招く可能性があります。

固德科技は振動測定サービスを提供し、環境や設備を測定することで振動の発生源を特定し、実験や製造プロセスへの影響を回避します。また、モーターのローターなどの機器の振動を測定することで、設備の品質を評価し、予知保全を実現します。コストを最適に活用し、生産性と作業効率の向上をサポートします！

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