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ウェハー運送中にスクラッチを防ぐには？

実績｜ウェハー運送中にスクラッチを防ぐには？

ウェハー搬送ロボット (Wafer Robot) は、運搬中に異常振動が発生すると、ウェハーのスクラッチや衝突を引き起こす可能性があります。ウェハーの損傷や廃棄を事前に防ぐにはどうすればよいでしょうか？

ウェハー搬送専用のロボットアーム

ウェハーロボットは主に半導体製造の前工程で使用され、人手に代わってウェハーを搬送する役割を果たします。ウェハーのコストは非常に高いため、ユーザーはロボットアームの搬送安定性を非常に重視しています。

ウェハーロボットは、多軸関節構造を備えており、狭いスペースでも正確かつ安定したウェハー搬送が可能です。しかし、搬送中にロボットアームに異常振動が発生すると、ウェハー品質に大きな影響を与え、スクラッチや衝突を引き起こす可能性があります。

ウェハーロボットには、さまざまな多軸方向性がありますが、どのように監視すればよいのでしょうか？

解決策と監視方法

VMS-ML 機械学習インテリジェント監視システム
VMS-ML 機械学習インテリジェント監視システムを利用し、ウェハーロボットの搬送プロセス中の動的信号を学習します。本システムは、装置システムとの接続が不要で、センサーを 1 つ取り付けるだけで動的信号の学習を開始できます。測定により各セクションの変化を把握できます。