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Sub-Fab 端常发生的问题？

Sub-Fab 附属製造无尘室备有多种不同型式的 Drypump 真空泵浦，如何有效管理监测已达到预知保养？

执行动机
Sub-Fab 端与 Dry pump

Sub-Fab指半导体业附属製造无尘室，在半导体製程设备里，常会用到Dry pump製造真空环境。如蚀刻技术，蚀刻设备主要分湿蚀刻（液体）与乾蚀刻（气体），为了增加蚀刻的精准度，会将环境控制在低压与高能气体的状态下，因此常会使用到Dry pump、Turbo pump。

Dry pump品质对于Sub-fab佔有很大的影响力，因此针对Dry pump需要有完善的监测方案，会利用到Dry pump的场域如：半导体长晶厂、半导体製造业、面板製造业、Sub-Fab真空系统、各式製造业厂务真空系统等。所用到的长晶炉、LPCVD 低压化学气相沉积炉管、Ion implanter离子佈植、CVD Producer (Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积)、PVD Sputter（Physical vapor deposition 物理气相沉积溅镀）、Dry Etch乾刻蚀、Slit Coater涂佈等。

如何执行
Sub-Fab端设备如何规划监测？

品质检验如：半导体长晶厂、半导体製造业、面板製造业、Sub-Fab真空系统、各式製造业厂务真空系统等。

影响Sub-Fab端的Dry pump
长晶炉、LPCVD 低压化学气相沉积炉管、Ion implanter离子佈植、CVD Producer (Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积)、PVD Sputter（Physical vapor deposition 物理气相沉积溅镀）、Dry Etch乾刻蚀、Slit Coater涂佈等。

痛点执行
影响Sub-Fab端的Dry pump？

Sub-Fab的工安危险
半导体製造业常常困扰于工安的问题，在製程中所使用到的化学物质众多，有毒气体如：AsH₃ 砷化氢、SiH₄ 甲硅烷、SiH₂Cl₂ 二氯硅烷、Si₂H₆ 乙硅烷、SiHCl₃ 三氯氢硅、GeH₄ 甲锗烷、PH₃ 磷化氢、NH₃ 氨气等，对于环境与人体都有立即性的危险。这些有毒化学气体于无尘室机台端反应排放后，透过 Dry pump 真空系统送至 Local Scrubber 作处理，若残留在风管中，一旦有化学反应，轻的话造成排风管堵塞或腐蚀，严重的话可能会发生洩漏或爆炸的可能。

Sub-Fab 的製程问题
在工业、半导体製造业製程中，部份加工技术程序会如：热处理、涂层、乾燥、镀膜、冶金、蚀刻、灰化、去光阻等程序会藉由Dry pump帮助製造真空环境来达成。真空系统由多种组件组合而成，如压力阀、压力计、真空腔体与泵浦。Dry pump 在製程的重要性如：乾蚀刻（Dry ETCH) 利用电浆，将反应气体分子，经由离子的化学反应或物理作用。将曝露在电浆下之薄膜蚀刻，生成物时再以 Dry pump 抽离。因此一旦 Dry pump 失去作用或异常，可导致在製造过程中的不良品增加，造成产品的汙染。

Ion implanter

Dry Etch

Slit Coater

CVD Producer

LPCVD 炉管

长晶炉

执行目标
掌握 Dry pump 品质

＃了解设备品质，避免无预警停机
Sub-Fab 端 Dry pump 设备属于转子机械设备，了解转子的健康状况进行预知保养，避免 Dry pump 设备容易因为泵浦卡粉、培林端油品问题（漏油、劣化）导致机械损坏或卡死，或是泵浦提前损坏，造成无预警停机。

＃快速找出问题症结点，排除异常
Sub-Fab 端 Dry pump 设备机型种类繁多，对于製程有相当大的影响，当设备问题发生时，需要能立即性找出问题症结点，快速排除异常原因，以免因为影响产线流程造成产品不良率提高及生产成本。

＃降低维护的成本，确保保养效益
Sub-Fab 端 Dry pump 设备因种类机型不同，许多使用者会委外或回原厂进行保养，但往往无法得知回厂后的保养效益。若能了解Dry pump品质，就能避免过度保养，在正确的时间进行保养，进而降低维护成本。

＃增加良品使用率，预防提前老化
Sub-Fab 端 Dry pump 设备对于半导体製程佔有很重要的影响，许多使用者会因为不了解设备品质，时间到了就回原厂保养，换了一堆不需要换的耗材部件，增加维护成本，切确了解设备品质才能把钱花在刀口上并且预防提前老化。

避免无预警停机

找出问题症结点

确保保养效益

增加良品使用率

如何执行
Dry pump 的振动监诊

设备中有许多动力来源是藉由转子设备(例如：各式马达、泵浦)，因此转子设备的健康也就关係着机台设备健康，VMS-DP 真空泵浦监测系统内建了数个ISO转子设备健康评鑑规格，可使得工程师或操作人员利用此功能来评鑑各个转子的健康状态，来提升维护以及预知保养的工作。

根据不同机械种类分类 (马力大小分类、马达与负载连接形式、转子种类、刚性或饶性结构) ，使用该种类指定之特定频宽，并滤除频宽内特定频段，依需求将规定振动物理量之振幅以0-Peak、Peak to Peak、RMS值呈现。

提供厂区内各式 DryPump 品质检测并将资讯可视化，以最清楚简单的方式呈现给使用者，方便使用者整合资讯并即时了解设备状态。查看趋势图功能让维修保养人员预测、排程保养时间并可适时发现设备问题并降低维护成本。

VMS-DP 真空泵浦监测系统