DRYPUMP

協助半導體廠化解長期痛點
半導體製造蘊含蝕刻、黃光、擴散、薄膜等必經程序，如何確保其中各項製程設備的健康狀態，無疑至關重大。以擴散製程中的「熱氧化」而論，靠的即是高溫氧化爐管之正常運作，萬一真空度不足可能造成爐內整批晶圓報廢，衍生巨大損失；但意欲避免爐管失效，存在一些挑戰。爐管以真空泵浦(Dry Pump)為驅動元件，內含轉子電機、魯氏泵浦。真空泵浦原廠提供的監控系統，僅涵蓋壓力、流量、溫度及電流，未含振動，導致用戶無法掌握足夠資訊，甚難提前探知失效預兆；為此一向專精於振動量測的固德科技，於今年(2018)推出真空泵浦品質檢測解決方案，以協助半導體廠化解長期痛點。使用者對真空泵浦的主要期望有二，一是掌握故障徵兆，避免無預警停機；另一是找到可信賴依據，以延長良品的工作時數(Lifetime)，減輕維護成本，即使送交保養，亦需確保回廠設備達到保養需求規格。

期盼精準認定Lifetime，減輕維運成本
以往使用者慣用電流來觀察機械健康度，但電流是落後指標，等到產生電流異常飆高警訊，代表隨時可能停機，狀況岌岌可危，不符合預知保養原則。此外談及Lifetime的訂定，係由人為經驗搭配數據統計所形成，真空泵浦運轉到達預定時數，不管狀態優劣通通送交保養，導致用戶可能為了保養良品而耗費無謂成本，況且針對回廠設備，通常僅以電流做為驗收依據，不足以確保委外保養效益，埋下日後Lifetime內提前老化的風險。 鑒於這些痛點，固德著手設計相關軟體與演算法，涵蓋ISO 10816轉子機械振動品質評估、Broad Band數值管理、SOA值(Spectrum Overall Value)管理等多重機制，並將複雜訊號轉化為直覺可視的健康指標，有效補強傳統監測功能之不足，甚至使用者即使欠缺FFT(快速傅立葉轉換)頻譜分析能量，仍能藉由這套方案看穿許多細微徵兆。使用者能迅速得知其真空泵浦落在優良、正常、警告、危險何等層級；另支援經常為人忽略的第二類變異管理，以滿足短時間趨勢之管理需求。