固德科技

DRYPUMP

真空泵浦監測方案

重要的真空泵浦管理不易?安裝位置人員不易到達?
利用無線式線上泵浦監測系統做有效管理

完美消弭半導體氧化製程風險

真空泵浦監測方案效益有二,一是掌握故障徵兆,避免無預警停機;另一是找到可信賴依據,以延長良品的工作時數(Lifetime),減輕維護成本,即使送交保養,亦需確保回廠設備達到保養需求規格。

真空泵浦品質檢測系統

協助半導體廠化解長期痛點
半導體製造蘊含蝕刻、黃光、擴散、薄膜等必經程序,如何確保其中各項製程設備的健康狀態,無疑至關重大。以擴散製程中的「熱氧化」而論,靠的即是高溫氧化爐管之正常運作,萬一真空度不足可能造成爐內整批晶圓報廢,衍生巨大損失;但意欲避免爐管失效,存在一些挑戰。爐管以真空泵浦(Dry Pump)為驅動元件,內含轉子電機、魯氏泵浦。真空泵浦原廠提供的監控系統,僅涵蓋壓力、流量、溫度及電流,未含振動,導致用戶無法掌握足夠資訊,甚難提前探知失效預兆;為此一向專精於振動量測的固德科技,於今年(2018)推出真空泵浦品質檢測解決方案,以協助半導體廠化解長期痛點。使用者對真空泵浦的主要期望有二,一是掌握故障徵兆,避免無預警停機;另一是找到可信賴依據,以延長良品的工作時數(Lifetime),減輕維護成本,即使送交保養,亦需確保回廠設備達到保養需求規格。

期盼精準認定Lifetime,減輕維運成本
以往使用者慣用電流來觀察機械健康度,但電流是落後指標,等到產生電流異常飆高警訊,代表隨時可能停機,狀況岌岌可危,不符合預知保養原則。此外談及Lifetime的訂定,係由人為經驗搭配數據統計所形成,真空泵浦運轉到達預定時數,不管狀態優劣通通送交保養,導致用戶可能為了保養良品而耗費無謂成本,況且針對回廠設備,通常僅以電流做為驗收依據,不足以確保委外保養效益,埋下日後Lifetime內提前老化的風險。 鑒於這些痛點,固德著手設計相關軟體與演算法,涵蓋ISO 10816轉子機械振動品質評估、Broad Band數值管理、SOA值(Spectrum Overall Value)管理等多重機制,並將複雜訊號轉化為直覺可視的健康指標,有效補強傳統監測功能之不足,甚至使用者即使欠缺FFT(快速傅立葉轉換)頻譜分析能量,仍能藉由這套方案看穿許多細微徵兆。使用者能迅速得知其真空泵浦落在優良、正常、警告、危險何等層級;另支援經常為人忽略的第二類變異管理,以滿足短時間趨勢之管理需求。




機械部件異常檢出並發報

機械部件異常檢出並發報


利用量測內藏的培林端部位的振動訊號,來評鑑轉子機械、泵浦、DRYPUMP的健康狀況。並結合IIoT長時間監控監測品質,可自訂門檻,當部件異常可設定警報器或發送mail即時通知。



隨時掌握每個轉子歷史趨勢變化

內建ISO規範與趨勢值監測


真空泵浦品質檢測系統內建業界最實用完整轉子類別ISO建議規範,於量測數據、頻譜數據與ISO規範結合,自動判讀機械振動品質狀況。


搭配專業轉子服務量測定期巡檢

支援數據趨勢原始數據收集


對於管理中的泵浦與其設定的各量測點產出所有量測的歷史紀錄與品質狀況,並有趨勢圖顯示供維修人員排定保養時間。


對於設備問題不知道如何找出嗎?


不清楚該如何選擇量測工具?設備問題不知道從何檢出?設備有異常卻不知道原因?讓服務量測專業人員為您解決問題。